[发明专利]基板缓存装置

权利要求书

1.一种基板缓存装置，其特征在于，包括箱体(10)、位于箱体(10)内的上承载台(20)、位于箱体(10)内且位于上承载台(20)下方的下承载台(30)、及固定于所述箱体(10)上且位于所述上、下承载台(20、30)之间的隔板(40)；

所述箱体(10)的前后分别设有开口部(100)，所述箱体(10)包括上壁(11)、下壁(12)、左侧壁(13)及右侧壁(14)；

所述上、下承载台(20、30)下方分别设置有第一、二旋转轴(50、60)，所述上、下承载台(20、30)可分别绕所述第一、二旋转轴(50、60)于水平面内在所述箱体(10)内部独立旋转；

所述基板缓存装置放置于机台的机械手附近，可通过机械手将机台中的基板经由面向该机台的开口部(100)放置到基板缓存装置的上、下承载台(20、30)上；或通过机台的机械手将已放置到上、下承载台(20、30)上的基板取出放回该机台中；或将基板放置到基板缓存装置的上、下承载台(20、30)上之后，使所述上、下承载台(20、30)水平旋转180°，再通过相邻另一机台的机械手经由面向该另一机台的开口部(100)将基板转移；

所述上、下承载台(20、30)上设有数条相互平行且贯穿所述上、下承载台(20、30)前后端面的第一凹槽(210)，所述第一凹槽(210)两侧的凸台上设有第二凹槽(220)，所述第二凹槽(220)内设有数个顶针(221)；

所述第一凹槽(210)对应机械手的机械手臂设置，使用机械手将基板放置于所述上、下承载台(20、30)上时，首先使上、下承载台(20、30)的前后端面分别朝向开口部(100)，使机械手臂伸入所述第一凹槽(210)内，机械手上的基板被凸台或凸台的第二凹槽(220)内的顶针(221)所支撑，然后使机械手臂从第一凹槽(210)内抽出，从而将基板放置于所述上、下承载台(20、30)上。

2.如权利要求1所述的基板缓存装置，其特征在于，所述顶针(221)具有真空吸附作用。

3.如权利要求1所述的基板缓存装置，其特征在于，所述箱体(10)的左侧壁(13)及右侧壁(14)上设置有可视窗口(101)。

4.如权利要求1所述的基板缓存装置，其特征在于，所述箱体(10)的上壁(11)上安装有数个风机滤器单元。

5.如权利要求1所述的基板缓存装置，其特征在于，所述隔板(40)划分为中心区域和位于中心区域四周的边缘区域，所述隔板(40)的边缘区域上具有数个第一通风孔(401)；所述隔板(40)的中心区域为实板。

6.如权利要求5所述的基板缓存装置，其特征在于，所述下壁(12)上均匀分布有数个第二通风孔(402)。

7.如权利要求1所述的基板缓存装置，其特征在于，所述上承载台(20)和下承载台(30)包括四条第一凹槽(210)和分别位于所述四条第一凹槽(210)两侧的五条凸台上的五条第二凹槽(220)。