[其他]一种弹性波装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及弹性波装置的制造方法以及弹性波装置。

背景技术

在弹性表面波装置的制造时，将母基板单片化为以各个电子部件为单位的压电基板。在下述的专利文献1中，首先，在母基板上表面的整面形成金属膜。接下来，将形成有金属膜的母基板单片化为各个压电基板。

在下述的专利文献2以及3中，不仅是压电基板的上表面，直至侧面都形成金属膜或导体膜。由此，专利文献2中，防止了弹性表面波芯片中的树脂部件的带电。此外，专利文献3中提高了电子部件的电磁波屏蔽效果。

在先技術文献

专利文献

专利文献1：WO08/018452

专利文献2：日本特开2006-80921号公报

专利文献3：WO13/035819

实用新型内容

-实用新型要解决的课题-

专利文献1所记载的制造方法中，在金属膜形成之后进行单片化。该情况下，由于金属的延性、展性较高，因此在单片化时，金属膜有可能出现伸展。因此，有可能金属膜从被单片化的压电基板的端缘向侧方伸出，或者到达侧面的一部分。

另一方面，专利文献2、专利文献3所记载的制造方法中，导体膜或金属膜不仅形成在压电基板的上表面的整个面，还到达侧面。

因此，在通过专利文献1～3所记载的制造方法得到的弹性波装置中，有可能金属膜与其他的通电部分或其他的电子部件接触，并产生短路损坏。另一方面，近年来，为了提高散热性，尝试在压电基板的一个主面设置金属膜来作为散热膜。在设置有这种散热膜的构造中，也谋求防止散热膜与其他的部位的接触、散热膜与其他的电子部件等通电部分的接触。

本实用新型的目的在于，提供一种通过针对散热膜的形状下功夫，从而能够抑制散热膜与其他的部位或其他的部件之间的接触的弹性波装置的制造方法以及弹性波装置。

-解决课题的手段-

本实用新型所涉及的弹性波装置的制造方法包括：在具有相对置的第 1主面以及第2主面的压电基板的所述第1主面上设置IDT电极的工序；和在所述压电基板的所述第2主面上，形成具有相对置的一对主面和将所述一对主面连结的侧面的散热膜的工序，在形成所述散热膜的工序中，形成所述散热膜，使得：在沿着将所述散热膜的所述一对主面连结的方向的任意剖面处，所述散热膜的所述侧面的至少一部分位于比所述压电基板的所述第2主面的外周靠内侧的位置。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的制造方法的某个特定的方面，在形成所述散热膜的工序中，形成所述散热膜，使得：所述散热膜的所述一对主面之中远离所述压电基板的所述第2主面的一侧的主面的外周缘，位于比所述第2主面的外周靠内侧的位置。该情况下，能够更为有效地抑制散热膜与其他的部位或其他的部件之间的接触。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的制造方法的其他特定的方面，在形成所述散热膜的工序中，形成所述散热膜，使得：在从所述第2主面侧进行俯视的情况下，所述散热膜的外周位于比所述第2主面的外周靠内侧的位置。该情况下，能够进一步有效地抑制散热膜与其他的部位或其他的部件之间的接触。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的制造方法的另外的特定的方面，还具备：对母基板进行单片化以获得多个所述压电基板的工序，在形成所述散热膜的工序中，在对所述母基板进行单片化之后，在所述压电基板的所述第2主面上形成所述散热膜。该情况下，在进行单片化时，能够抑制散热膜由于材料的延性、展性等而延伸。因此，能够更加降低与其他的部位或其他的部件之间的接触概率。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的制造方法的其他特定的方面，在形成所述散热膜的工序中，对所述母基板、或者进行单片化而得到的所述压电基板的所述第2主面进行背面研磨处理，在所述背面研磨处理之后，在所述压电基板的所述第2主面上形成所述散热膜。该情况下，能够在进行背面研磨处理的同时形成散热膜。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的制造方法的其他特定的方面，利用掩模或者薄膜抗蚀剂来形成所述散热膜。通过利用掩模或者薄膜抗蚀剂，能够容易地形成任意俯视形状的散热膜。

在本实用新型所涉及的弹性波装置的制造方法的另外的特定的方面，在形成所述散热膜的工序中，对所述散热膜付与锥形，使得所述散热膜的面积随着从所述压电基板的所述第2主面远离而变小。该情况下，能够更加降低散热膜与其他的部位或其他的部件之间的接触概率。