[其他]压电设备有效
| 申请号： | 201590001121.6 | 申请日： | 2015-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN206878791U | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 岸本谕卓 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H01L41/09;H01L41/337;H03H3/08 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司11021 | 代理人： | 李逸雪 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 压电 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种压电设备，具备：
压电膜，具有在厚度方向形成的贯通孔；
功能导体，形成于所述压电膜；
固定层，形成于所述压电膜的主面，以使得在俯视下与形成有所述功能导体的区域重合的位置形成空隙；和
支承基板，形成于所述固定层中的与所述压电膜侧的主面相反的一侧的主面，
所述固定层在俯视下与所述贯通孔重合的位置处的所述固定层的内壁，具有阶梯部。
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