[其他]一种用于在工件中形成限定轮廓的多个缺陷的系统

权利要求书

1.一种用于在工件中形成限定轮廓的多个缺陷的系统，所述工件包括玻璃衬底，所述玻璃衬底包括至少一层并且具有标准化的缺陷形成前断裂韧度等级1.0，所述系统包括：

激光器组件，所述激光器组件被配置成用于提供多个激光脉冲发射，所述多个激光脉冲发射中的每个激光脉冲发射具有选自由以下各项组成的组的预定特征：波长、功率水平、脉冲持续时间、和激光脉冲发射速率；

光学组件，所述光学组件与所述激光器组件耦合，所述光学组件被配置成并可移动用于将每个激光脉冲发射聚焦至在所述工件内不同位置处的不同焦线，其中：

每条所述不同焦线与相邻的不同焦线分开预定距离，

沿着每条不同焦线在所述工件内形成具有平均裂纹长度的相应缺陷，从而在所述工件内形成限定轮廓的多个缺陷，并且

所述缺陷中的每一个是通过诱导吸收而生成的；

工件固持器，所述工件固持器被配置成用于将所述工件固持在相对于所述光学组件的一位置处，所述工件固持器或所述光学组件被配置成用于提供所述工件与所述光学组件之间的相对运动；以及

控制器，所述控制器与所述激光器组件、所述光学组件或所述工件固持器耦合，所述控制器被配置成用于执行代表预定设计的指令，所述控制器被配置成用于选择所述预定特征、所述不同位置、所述预定距离、所述平均裂纹长度、或所述相对运动，从而使得所述预定距离的平均值与所述平均裂纹长度的平均值的比率导致所述工件沿着所述轮廓具有小于所述标准化的缺陷形成前断裂韧度等级的缺陷形成后断裂韧度等级。

2.如权利要求1所述的系统，其中，所述预定距离的平均值与所述平均裂纹长度的平均值的比率导致所述工件沿着所述轮廓具有相对于所述标准化的缺陷形成前断裂韧度等级在0.2与0.8之间的范围内的缺陷形成后断裂韧度等级。

3.如权利要求1所述的系统，其中，所述预定距离的平均值与所述平均裂纹长度的平均值的比率导致所述工件沿着所述轮廓具有相对于所述标准化的缺陷形成前断裂韧度等级在0.4与0.6之间的范围内的缺陷形成后断裂韧度等级。

4.如权利要求1至3中任一项所述的系统，其中，所述比率小于或等于：

12，其中，当所述玻璃衬底是低强度玻璃衬底时；

8，其中，当所述玻璃衬底是中等强度衬底时；以及

6，其中，当所述玻璃衬底是高强度玻璃衬底时。

5.如权利要求1至3中任一项所述的系统，其中，所述比率在以下范围内：

2与8之间，其中，当所述玻璃衬底是低强度玻璃衬底时；

2与6之间，其中，当所述玻璃衬底是中等强度衬底时；以及

1与4之间，其中，当所述玻璃衬底是高强度玻璃衬底时。

6.如权利要求1至3中任一项所述的系统，其中，所述比率在以下范围内：

6与8之间，其中，当所述玻璃衬底是低强度玻璃衬底时；

4与6之间，其中，当所述玻璃衬底是中等强度衬底时；以及

2.5与4之间，其中，当所述玻璃衬底是高强度玻璃衬底时。

7.根据权利要求1-3中任一项所述的系统，其中，所述预定距离的平均值在2微米与350微米之间的范围内，并且所述平均裂纹长度的平均值在1微米与40微米之间的范围内。

8.根据权利要求1-3中任一项所述的系统，其中，所述光学组件进一步包括反射涂层，所述反射涂层被配置成用于阻挡每个激光脉冲发射的一部分，从而使得所述不同位置中的每一个仅被安置在所述工件的压缩应力层中。

9.根据权利要求1-3中任一项所述的系统，其中，所述多个激光脉冲发射中的每个激光脉冲发射具有在1皮秒与100皮秒之间的范围内的脉冲持续时间。

10.如权利要求9所述的系统，其中，所述脉冲持续时间在5皮秒与20皮秒之间的范围内。