[发明专利]观察装置

权利要求书

1.一种观察装置，其中，所述观察装置具有：

照明光学系统，其从试样的下方朝向斜上方射出照明光；

反射部件，其在所述试样的上方反射从该照明光学系统射出的照明光；以及

物镜光学系统，其在所述试样的下方，以与所述照明光学系统不同的路径拍摄被该反射部件反射并透射过所述试样后的透射光，

所述照明光学系统具有光源、将来自该光源的光限制在特定的射出区域内的掩模、使由该掩模限制的光成为大致平行光的准直光学系统，

所述反射部件对通过所述准直光学系统成为大致平行光的所述光进行反射；

所述照明光学系统被配置成，在所述射出区域被投影到所述物镜光学系统的光瞳面上时，所述射出区域的投影像与所述光瞳的边缘部部分重合。

2.根据权利要求1所述的观察装置，其中，

满足条件式(1)，

(1) 0.05≤d/D≤0.4

其中，D是所述物镜光学系统的光瞳直径，d是将所述射出区域投影到所述光瞳面上时的光束直径。

3.根据权利要求1所述的观察装置，其中，

满足条件式(2)，

(2) 0.1≤ds/(NAo·Fi)≤0.8

其中，ds是从所述照明光学系统射出的照明光的倾斜方向上的所述射出区域的大小，Fi是所述准直光学系统的焦距，NAo是所述物镜光学系统的所述试样侧的数值孔径。

4.根据权利要求1所述的观察装置，其中，

满足条件式(3)，

(3) NAo-ds·Fi/2Fop²≤θ≤NAo+ds·Fi/2Fop²

其中，ds是从所述照明光学系统射出的照明光的倾斜方向上的所述射出区域的大小，Fi是所述准直光学系统的焦距，NAo是所述物镜光学系统的所述试样侧的数值孔径，Fop是所述物镜光学系统的相比于光瞳处于所述试样侧的焦距，θ是通过所述准直光学系统转换为大致平行光后的照明光相对于所述物镜光学系统的光轴的在所述试样的位置处的倾斜角度。

5.根据权利要求1～4中的任意一项所述的观察装置，其中，

所述射出区域是构成环带的一部分的形状。

6.根据权利要求5所述的观察装置，其中，

所述掩模在所述射出区域内具有朝向径向内方使透射率连续或阶段降低的减光部。

7.根据权利要求5所述的观察装置，其中，

所述掩模在所述射出区域内具有朝向径向内方使透射率连续或阶段升高的减光部。

8.根据权利要求1～4中的任意一项所述的观察装置，其中，

所述试样由光学上透明的材质构成，收容在具有顶板的容器中，所述顶板在所述试样的上部至少反射光的一部分而发挥所述反射部件的作用。

9.根据权利要求5所述的观察装置，其中，

所述试样由光学上透明的材质构成，收容在具有顶板的容器中，所述顶板在所述试样的上部至少反射光的一部分而发挥所述反射部件的作用。

10.根据权利要求6所述的观察装置，其中，

所述试样由光学上透明的材质构成，收容在具有顶板的容器中，所述顶板在所述试样的上部至少反射光的一部分而发挥所述反射部件的作用。

11.根据权利要求7所述的观察装置，其中，

所述试样由光学上透明的材质构成，收容在具有顶板的容器中，所述顶板在所述试样的上部至少反射光的一部分而发挥所述反射部件的作用。