[发明专利]窄带化激光装置和谱线宽度计测装置

权利要求书

1.一种窄带化激光装置，其具有：

激光谐振器，其包含使谱线宽度窄带化的光学元件；

分光器，其对从所述激光谐振器输出的脉冲激光所包含的多个脉冲检测分光强度分布；

光谱波形生成部，其生成对所述多个脉冲的分光强度分布进行相加而得的光谱波形；

装置函数存储部，其存储所述分光器的装置函数，所述装置函数是在所述光谱波形为δ函数的光入射到所述分光器的情况下所计测的光谱波形的函数；

波长频度函数生成部，其生成表示所述多个脉冲的中心波长的频度分布的波长频度函数，所述波长频度函数与在所输入的中心波长按每一个脉冲变更的情况下的中心波长的频度分布对应；

去卷积处理部，其使用所述装置函数和所述波长频度函数对所述光谱波形进行去卷积处理；

谱线宽度计算部，其根据所述去卷积处理部所计算的复原光谱波形来计算谱线宽度；以及

谱线宽度控制部，其根据所述谱线宽度计算部所计算出的所述谱线宽度对所述脉冲激光的谱线宽度进行控制。

2.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，

所述去卷积处理部使用通过对所述装置函数和所述波长频度函数进行卷积处理而获得的合成函数来进行所述去卷积处理。

3.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，

该窄带化激光装置还具有对各所述脉冲的中心波长进行计测的中心波长计测部，

所述波长频度函数生成部根据所述中心波长计测部所计测的计测中心波长而生成所述波长频度函数。

4.根据权利要求3所述的窄带化激光装置，其中，

所述中心波长是半值波长的平均值、峰值波长、以及重心波长中的任意一个。

5.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，

该窄带化激光装置还具有控制部，该控制部从曝光装置获取各所述脉冲的中心波长的控制中所使用的目标中心波长，

所述波长频度函数生成部根据所述目标中心波长而生成所述波长频度函数。

6.根据权利要求5所述的窄带化激光装置，其中，

针对所述多个脉冲的所述目标中心波长的波长变更量为所述波长频度函数的区间宽度的2倍以上。

7.根据权利要求6所述的窄带化激光装置，其中，

所述区间宽度比0大且为7fm以下。

8.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，

所述分光器包含传感器，该传感器每当对所述分光强度分布进行了第一次数的检测时，输出累计了所述分光强度分布而得的累计数据，并且进行第二次数的所述输出，

所述光谱波形生成部根据对所述第二次数的所述累计数据进行平均而得的累计平均数据，而生成所述光谱波形。

9.根据权利要求8所述的窄带化激光装置，其中，

所述第一次数和所述第二次数分别为1以上，

作为所述第一次数与所述第二次数的积的第三次数为2以上。

10.根据权利要求1所述的窄带化激光装置，其中，

该窄带化激光装置还具有对各所述脉冲的脉冲能量进行检测的能量传感器，

波长频度函数生成部通过按波长的每个区间计算所述脉冲能量的和而生成所述波长频度函数。