[发明专利]数据处理装置在审

专利信息
申请号: 201580081390.2 申请日: 2015-07-01
公开(公告)号: CN107850567A 公开(公告)日: 2018-03-27
发明(设计)人: 山口真一 申请(专利权)人: 株式会社岛津制作所
主分类号: G01N27/62 分类号: G01N27/62;G01N33/483
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 代理人: 刘新宇
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 数据处理 装置
【权利要求书】:

1.一种数据处理装置,对针对试样上的二维区域通过第一测定方法得到的第一图像数据以及针对该试样上的二维区域通过与所述第一测定方法不同的第二测定方法得到的第二图像数据进行处理,来求出与所述试样有关的信息,该数据处理装置的特征在于,具备:

a)预处理部,其针对第一图像数据和第二图像数据进行位置对准处理以使呈现与试样上的相同部位对应的测定结果的像素在图像上的位置一致,并且针对第一图像数据和第二图像数据进行使第一图像数据和第二图像数据的空间分辨率一致的数据变换处理;以及

b)统计分析处理部,其针对空间上的位置被所述预处理部对准且空间分辨率被所述预处理部统一后的第一图像数据和第二图像数据,对在空间上对应的像素的数据进行统计分析处理,由此计算表示二维的信号强度分布的相似性或差异性的指标值。

2.根据权利要求1所述的数据处理装置,其特征在于,

所述第二图像数据包括构成在不同的参数下得到的多个图像的数据,所述统计分析处理部提取能够获得在二维的强度分布上与由所述第一图像数据构成的一个图像的相似性高或差异性高的图像的参数。

3.根据权利要求2所述的数据处理装置,其特征在于,

所述统计分析处理部针对由所述第二图像数据构成的多个图像中的各个图像计算由所述第一图像数据构成的一个图像与由所述第二图像数据构成的一个图像的相关系数,并基于该相关系数来提取能够获得二维的强度分布的相似性高或差异性高的图像的参数。

4.根据权利要求2所述的数据处理装置,其特征在于,

所述统计分析处理部对所述第一图像数据和所述第二图像数据进行多变量分析,基于该多变量分析的结果来提取能够获得二维的强度分布的相似性高或差异性高的图像的参数。

5.根据权利要求1所述的数据处理装置,其特征在于,

所述第一图像数据和第二图像数据各自均包含构成在不同的参数下得到的多个图像的数据,所述统计分析处理部提取在第一图像数据与所述第二图像数据之间能够获得二维的强度分布的相似性高或差异性高的图像的参数的组合。

6.根据权利要求1~5中的任一项所述的数据处理装置,其特征在于,

所述第二测定方法是针对试样上的二维区域内的各微小区域进行n为2以上的MSn测定的方法,所述第二图像数据是通过该MSn测定而得到的图像数据。

7.一种数据处理装置,对针对试样上的二维区域内的多个微小区域中的各个微小区域得到的试样谱数据和作为基准的基准谱数据进行处理,来求出与所述试样有关的信息,该数据处理装置的特征在于,具备:

a)统计分析处理部,其按每个所述微小区域对与该微小区域对应的试样谱数据和所述基准谱数据进行统计分析处理,来计算表示谱的相似性或差异性的指标值;以及

b)图像制作部,其基于由所述统计分析处理部针对每个微小区域得到的指标值,来制作示出与试样上的所述二维区域对应的指标值的二维分布的图像。

8.根据权利要求7所述的数据处理装置,其特征在于,

所述试样谱数据和所述基准谱数据是通过n为2以上的MSn测定而得到的质谱数据。

9.一种数据处理装置,对针对试样上的二维区域通过第一测定方法得到的第一图像数据和针对该试样上的二维区域通过与所述第一测定方法不同的第二测定方法得到的第二图像数据进行处理,来求出与所述试样有关的信息,该数据处理装置的特征在于,具备:

a)主成分分析执行部,其对第一图像数据进行主成分分析并按每种主成分求出表示得分值的二维分布的得分值分布数据,并且同样地对第二图像数据进行主成分分析并按每种主成分求出表示得分值的二维分布的得分值分布数据;以及

b)关联主成分提取部,其将由所述主成分分析执行部得到的基于第一图像数据的任意主成分的得分值分布数据与基于第二图像数据的任意主成分的得分值分布数据在空间上进行比较,来提取空间上的相关性高的主成分的组合。

10.一种数据处理装置,对第一图像数据和第二图像数据进行处理,来求出与一个或多个试样有关的信息,其中,该第一图像数据包含构成针对试样上的二维区域通过规定的测定方法在不同的第一参数下得到的多个图像的数据,该第二图像数据包含构成针对所述试样上的与所述二维区域不同的二维区域或其它试样的二维区域通过所述规定的测定方法在不同的第二参数下得到的多个图像的数据,该数据处理装置的特征在于,具备:

a)主成分分析执行部,其对第一图像数据进行主成分分析并按每种主成分求出表示第一参数与因子载荷量的关系的因子载荷量谱,并且对第二图像数据进行主成分分析并按每种主成分求出表示第二参数与因子载荷量的关系的因子载荷量谱;以及

b)关联主成分提取部,其将基于第一图像数据的每种主成分的因子载荷量谱与基于第二图像数据的每种主成分的因子载荷量谱进行比较,来提取谱的相关性高的主成分的组合。

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