[发明专利]用于确定被测对象的实际尺寸特征的方法和装置有效
| 申请号: | 201580079129.9 | 申请日: | 2015-04-21 | 
| 公开(公告)号: | CN107548449B | 公开(公告)日: | 2019-11-12 | 
| 发明(设计)人: | B.格奥尔基;J.万纳;R.弗罗威斯;H.莱滕鲍尔 | 申请(专利权)人: | 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 | 
| 主分类号: | G01B21/00 | 分类号: | G01B21/00;G01B11/00 | 
| 代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 邱军;王蕊瑞 | 
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 确定 对象 实际 尺寸 特征 方法 装置 | ||
1.一种用于确定具有多个几何元素(46,48,50,52)的被测对象(32)的实际尺寸特性的方法,所述方法包括以下步骤:
-提供具有测量头(16)的坐标测量机(12),该测量头用于记录表示该被测对象(32)上的至少一个测量点的位置的测量值,
-提供表示该被测对象(32)的该多个几何元素(46,48,50,52)的既定特性的既定数据(34),其中,这些既定特性包含这些几何元素的可接受制造公差,
-借助于计算机来创建(78-88)测量序列(40),所述测量序列设定了该测量头(16)相对于该被测对象(32)的移动;并且记录在相对于该被测对象(32)的限定的测量头位置处的测量值,其中,从该多个几何元素(46,48,50,52)中选择限定的几何元素,并且取决于该既定数据来设定与这些限定的几何元素有关的测试特征(56,58,60,62,64),并且其中,取决于这些测试特征(56,58,60,62,64)来设定用于相对于这些限定的几何元素来控制该测量头(16)的控制命令,
-借助于该测量头(16)来记录(96)该被测对象(32)上的多个独立测量值,其中取决于这些控制命令来控制该测量头(16),并且
-取决于这些独立测量值来确定(98)数值,其中,这些数值表示该被测对象(32)的、与这些测试特征(56,58,60,62,64)相对应的实际尺寸特性,
其特征在于,首先借助于计算机创建第一测量序列,所述测量序列设定了(86)第一控制命令,并且在于,该第一测量序列在记录这些独立测量值之前借助于计算机被修改,以获得(92)具有第二控制命令的第二测量序列,其中,所述第二控制命令至少部分地与所述第一控制命令不同,其中,取决于所述第二控制命令来控制(96)用于记录这些独立测量值的该测量头(16),其中,借助于计算机来选择所述第二控制命令,其方式为使得这些数值各自具有限定的测量不确定性,该限定的测量不确定性比这些几何元素的可接受制造公差小了限定的绝对值,其中,取决于所述第一控制命令来确定(90)该限定的测量不确定性,其中,取决于所确定的测量不确定性来修改(92)该第一测量序列,并且其中,选择所述第二控制命令,其方式为使得针对这些测试特征(56,58,60,62,64)中的至少一者,该限定的测量不确定性增大,同时维持或减小至少一个其他测试特征的限定的测量不确定性。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,借助于计算机来选择所述第二控制命令,其方式为使得这些数值各自具有在可接受制造公差的10%与50%之间的限定的测量不确定性。
3.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,基于多个迭代步骤来确定(94)所述第二控制命令。
4.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,在完全完成该第一测量序列之后确定(92)所述第二控制命令。
5.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,在该第一测量序列已经完全完成之后,确定(92)所述第二控制命令。
6.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述第一控制命令和所述第二控制命令分别设定该测量头(16)相对于该被测对象(32)的移动参数。
7.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,提供其中存储了该坐标测量机(12)的机器特性(36)的第一数据库,其中,取决于这些机器特性来确定所述第二控制命令。
8.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,提供其中存储了表示参考被测对象(39)的实际尺寸特性的另外数值(38)的第二数据库,其中,取决于这些另外数值来确定所述第二控制命令。
9.如权利要求1或2所述的方法,其特征在于,用于记录这些测量值的该测量头(16)装配有限定的传感器安排(20,22),该限定的传感器安排是取决于该限定的测量不确定性来确定的。
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