[发明专利]光扫描装置的校准方法和校准装置

权利要求书

1.一种光扫描装置的校准方法，该校准方法应用于光扫描装置，该光扫描装置具有：光纤，其具有被支承为能够振动的前端部；以及致动器，其使所述光纤的前端部在与该光纤的光轴垂直的方向上驱动，该校准方法包含如下的步骤：

配置步骤，配置光位置检测器，该光位置检测器对来自所述光纤的所述前端部的出射光的位置进行检测；以及

检测步骤，向所述光纤提供光，并且对该光纤的所述前端部进行驱动，通过所述光位置检测器来检测出射光的位置，

该光扫描装置的校准方法的特征在于，

使用干涉条纹抑制单元来执行所述检测步骤，该干涉条纹抑制单元抑制在到达所述光位置检测器的光路上所产生的干涉条纹。

2.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，

所述干涉条纹抑制单元通过降低能够在所述光位置检测器上产生的反射来抑制干涉条纹。

3.根据权利要求2所述的校准方法，其中，

与所述光位置检测器的受光面对置地设置所述受光面的保护用的光透过部件，所述干涉条纹抑制单元使所述光透过部件的至少一个面处于低反射状态。

4.根据权利要求2所述的校准方法，其特征在于，

与所述光位置检测器的受光面对置地设置所述受光面的保护用的光透过部件，所述干涉条纹抑制单元构成为在所述光位置检测器的受光面与所述光透过部件之间填充了与空气相比折射率接近所述光透过部件的介质。

5.根据权利要求1至4中的任意一项所述的校准方法，其特征在于，

所述干涉条纹抑制单元通过向所述光纤提供可干涉性较低的光而抑制在所述光位置检测器内的干涉条纹的产生。

6.一种光扫描装置的校准装置，该光扫描装置具有：光纤，其具有被支承为能够振动的前端部；以及致动器，其使所述光纤的前端部在与该光纤的光轴垂直的方向上驱动，该光扫描装置的校准装置的特征在于，其具有：

控制部，其对所述致动器进行控制；

光位置检测器，其对来自所述光纤的所述前端部的出射光的位置进行检测；

存储部，其对基于从所述光位置检测器输出的出射光的位置信息的校准数据进行保存；以及

干涉条纹抑制单元，其抑制在到达所述光位置检测器的光路上所产生的干涉条纹。

7.根据权利要求6所述的校准装置，其特征在于，

在所述校准装置中，与所述光位置检测器的受光面对置地具有该受光面的保护用的光透过部件，所述干涉条纹抑制单元是设置于所述光透过部件的至少一个面上的防反射膜。

8.根据权利要求6所述的校准装置，其特征在于，

在所述校准装置中，与所述光位置检测器的受光面对置地具有该受光面的保护用的光透过部件，所述干涉条纹抑制单元构成为在所述光位置检测单元的受光面与所述光透过部件之间填充了与空气相比折射率接近所述光透过部件的介质。

9.根据权利要求6至8中的任意一项所述的校准装置，其特征在于，

所述校准装置具有向所述光纤提供可干涉性较低的光的光源，该光源作为所述干涉条纹抑制单元发挥功能。

10.根据权利要求9所述的校准装置，其特征在于，

所述可干涉性较低的光源是SLD或LED。