[发明专利]用于激光束操纵的声光学偏转器和反射镜

权利要求书

1.一种激光系统，包括：

声光学模块，其包括第一声光学偏转器和第二声光学偏转器，所述第一声光学偏转器用以当集成电路IC衬底处于激光束的路径中时在所述IC衬底上使所述激光束在所述激光束的第一扫描方向上偏转，以及所述第二声光学偏转器用以使所述激光束在第二扫描方向上偏转，其中所述第二扫描方向基本上垂直于所述第一扫描方向，其中所述第一和第二声光学偏转器包括不移动的零件，其中所述第一和第二声光学偏转器的响应时间与接收所述激光束的孔口的尺寸成正比并且与所述第一和第二声光学偏转器的材料的声速成反比；以及

反射镜，其与所述声光学模块耦合，其中所述反射镜包括多个表面以接收来自所述声光学模块的所述激光束，其中所述第二声光学偏转器被配置成跟踪所述反射镜的运动。

2.根据权利要求1所述的激光系统，其中：

所述反射镜是具有与多边形的多条边对应的多个表面的多边形反射镜。

3.根据权利要求2所述的激光系统，其中：

所述多边形反射镜具有与六边形的六条边对应的六个表面。

4.根据权利要求1所述的激光系统，其中所述反射镜被配置成以恒定速度旋转。

5.根据权利要求1所述的激光系统，其中所述声光学模块被配置成通过改变输入到所述声光学模块中的声信号来使所述激光束在所述第一和第二扫描方向上偏转。

6.根据权利要求1-5中的任一项所述的激光系统，还包括：

透镜，其在所述反射镜与工作台之间被部署在所述激光束的路径中，当要通过所述激光束对所述IC衬底进行图案化时所述IC衬底要被放置于所述工作台上。

7.根据权利要求6所述的激光系统，还包括：

激光谐振器；

在所述谐振器与所述声光学模块之间部署在所述激光束的路径中的准直器；以及

在所述谐振器与所述声光学模块之间部署在所述激光束的路径中的孔口掩模。

8.根据权利要求1-5中的任一项所述的激光系统，其中所述激光束是CO₂激光束或二次/三次谐波的掺钕钇铝石榴石（Nd:YAG）激光。

9.一种操纵激光束的方法，包括：

激活激光束；

通过声光学模块的第一声光学偏转器在被部署在所述激光束的路径中的集成电路IC衬底上使所述激光束在第一扫描方向上偏转，以及通过所述声光学模块的第二声光学偏转器使所述激光束在第二扫描方向上偏转，其中所述第二扫描方向基本上垂直于所述第一扫描方向，其中所述第一和第二声光学偏转器包括不移动的零件，其中所述第一和第二声光学偏转器的响应时间与接收所述激光束的孔口的尺寸成正比并且与所述第一和第二声光学偏转器的材料的声速成反比；以及

移动与所述声光学模块耦合的反射镜以控制所述激光束的位置，所述反射镜具有多个表面以接收来自所述声光学模块的所述激光束；以及

其中通过所述声光学模块的所述第二声光学偏转器使所述激光束在所述第二扫描方向上偏转包括跟踪所述反射镜的运动。

10.根据权利要求9所述的方法，其中移动所述反射镜包括以恒定速度旋转所述反射镜。

11.根据权利要求9所述的方法，其中：

所述反射镜是具有与多边形的多条边对应的多个表面的多边形反射镜。

12.根据权利要求11所述的方法，其中：

所述多边形反射镜具有与六边形的六条边对应的六个表面。

13.根据权利要求9所述的方法，其中通过改变输入到所述声光学模块中的声信号来执行使所述激光束在所述第一扫描方向上偏转。

14.根据权利要求9所述的方法，还包括：

使用所述激光束对所述IC衬底进行图案化。