[发明专利]用于将光学组件重新聚焦的方法

权利要求书

1.一种使用来源于短脉冲光源(2)的至少一个光束(f_u)将光学机构重新聚焦在目标表面(100)上的方法，所述光学机构包括用于将所述光束(f_u)聚焦在所述目标表面(100)上的至少一个光学器件(5)，所述重新聚焦在知悉了所述光学机构被视为聚焦的参考条件(d₁)之后被应用，在方法中：

-检测聚焦信号，其表示由所述目标表面(100)反射的光束(f_r)与不由所述目标表面(100)反射且从所述短脉冲光源(2)导出的参考光束(f_ref)之间的脉冲的时间叠加，所述光束中的一个由延迟线(14)延迟，

-基于所述参考条件，使得其上放置了所述延迟线(14)的所述光束的光学路径变化以导致所述聚焦信号到达或超过预定义阈值，以及

-基于对在所述参考条件(d₁)与所述聚焦信号到达或超过所述预定义阈值的条件(d₂)之间的光学路径的变化的知悉，重新调节所述聚焦。

2.根据权利要求1所述的方法，被应用于使用探测光束(f_s)和泵浦光束(f_p)来分析定义了所述目标表面的样本(100)，所述探测光束(f_s)和所述泵浦光束(f_p)中的至少一个来源于所述短脉冲光源(2)，包括放置在所述光束中的一个的轨迹上的至少一个延迟线(4)以及用于将所述探测光束(f_s)和所述泵浦光束(f_p)聚焦在待分析的所述样本(100)上的至少一个光学器件(5)，所述聚焦信号表示在由所述样本(100)反射且由所述延迟线(4)延迟的光束(f_r)与不由所述样本(100)反射的参考光束(f_ref)之间检测到的脉冲的时间叠加。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，通过相对于所述目标表面(100)移动所述延迟线、或者通过使用其上布置了所述目标表面的移动样本保持器相对于所述延迟线移动所述目标表面，来改变其上放置了所述延迟线(4，14)的所述光束的光学路径。

4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述预定义阈值等于零。

5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述预定义阈值严格地大于零。

6.根据权利要求1所述的方法，其中，基于由所述目标表面(100)反射的光束(f_r)与不由所述目标表面(100)反射且从所述短脉冲光源(2)或所述短脉冲光源(2)中的一个导出的参考光束(f_ref)之间的互相关来检测表示所述脉冲的时间叠加的聚焦信号，所述光束中的一个由所述延迟线(14)延迟。

7.根据权利要求1所述的方法，其中，所述光学机构包括分光元件(10)，其用于划分来源于所述短脉冲光源(2)的所述光束(f_u)，以便产生由所述目标表面(100)反射的光束(f_r)和不由所述目标表面(100)反射的参考光束(f_ref)。

8.根据权利要求2所述的方法，其中，所述光学机构包括单个光源(2)和分光元件(3)，所述分光元件(3)用于划分来源于所述光源的所述光束(f_i)，以便产生所述泵浦光束(f_p)和所述探测光束(f_s)。

9.根据权利要求2所述的方法，其中，所述光学机构包括分别发射所述泵浦光束(f_p)和所述探测光束(f_s)的两个光源。

10.根据权利要求2所述的方法，其中，所述延迟线(4)放置在所述泵浦光束(f_p)的轨迹上。