[发明专利]光学装置以及制造光学装置的方法有效
申请号: | 201580076239.X | 申请日: | 2015-12-29 |
公开(公告)号: | CN107257938B | 公开(公告)日: | 2020-07-28 |
发明(设计)人: | M·克里曼;A·梅根 | 申请(专利权)人: | 苹果公司 |
主分类号: | G02B27/42 | 分类号: | G02B27/42;G02B27/00;G02B5/18;G02B7/00 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李玲 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 装置 以及 制造 方法 | ||
1.一种用于制造光学装置的方法,所述方法包括:
提供一对玻璃晶片;
在所述玻璃晶片中的一个或多个玻璃晶片上形成一个或多个衍射光学元件DOE;
通过将所述玻璃晶片在一个或多个界面处彼此直接键合来形成气密密封件并限定包含所述DOE的腔,其中将所述玻璃晶片彼此直接键合包括微焊接一个或多个界面。
2.根据权利要求1所述的方法,其中形成所述DOE包括在聚合物层中模制衍射图案。
3.根据权利要求1所述的方法,其中形成所述DOE包括在所述玻璃晶片中的至少一个玻璃晶片中图案化衍射图案。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中将所述玻璃晶片彼此直接键合包括通过微焊接一个或多个界面来执行直接氧化物键合。
5.根据权利要求4所述的方法,包括在微焊接一个或多个界面之前,将所述玻璃晶片的一个或多个界面抛光并清洁。
6.根据权利要求4所述的方法,其中微焊接一个或多个界面包括在室温下将所述玻璃晶片朝彼此压制。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其中微焊接一个或多个界面包括执行激光辅助微焊接。
8.根据权利要求1所述的方法,其中微焊接一个或多个界面包括在室温下保持所述DOE。
9.一种光学装置,包括:
在一个或多个界面处被彼此直接微焊接的一对玻璃晶片;
形成在所述玻璃晶片中的一个或多个玻璃晶片上的一个或多个衍射光学元件DOE;
其中所述一对玻璃晶片在其间具有包含DOE的腔,并且在一个或多个界面处被彼此直接微焊接,以便气密密封所述腔。
10.一种光学装置,包括:
光源,所述光源被配置为发射光;和
衍射光学元件DOE组件,所述DOE组件被配置为响应于由所述光源发射的所述光而投射光图案,所述DOE组件包括:
在一个或多个界面处被彼此直接微焊接的一对玻璃晶片;
形成在所述玻璃晶片中的一个或多个玻璃晶片上的一个或多个DOE;
其中所述一对玻璃晶片在其间具有包含DOE的腔,并且在一个或多个界面处被彼此直接微焊接,以便气密密封所述腔。
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