[发明专利]微流体光学流体传感器

权利要求书

1.一种装置，包括：

衬底；

微流体通道，所述微流体通道由所述衬底支撑；

气泡喷射惯性泵，所述气泡喷射惯性泵由所述衬底支撑并与所述微流体通道相邻，以将流体选择性地泵送通过所述微流体通道；

光学传感器，所述光学传感器由所述衬底支撑，并且与所述微流体通道相邻并在所述微流体通道的第一侧上；以及

光发射器，所述光发射器在所述微流体通道的第二侧上，以传送光穿过所述微流体通道到达所述光学传感器。

2.根据权利要求1所述的装置，还包括：

第二微流体通道，所述第二微流体通道由所述衬底支撑。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述光发射器同时传送光穿过所述微流体通道和所述第二微流体通道。

4.根据权利要求2所述的装置，其中，所述光学传感器与所述第二微流体通道相邻，以接收由所述光发射器发射的已经穿过所述第二微流体通道的光。

5.根据权利要求2所述的装置，其中，所述第二微流体通道从所述第一微流体通道分支出来，并且其中，所述装置还包括：

第二光学传感器，所述第二光学传感器由所述衬底支撑并与所述第二微流体通道相邻；以及

第二气泡喷射惯性泵，所述第二气泡喷射惯性泵由所述衬底支撑并与所述第二通道相邻，以将流体选择性地泵送通过所述第二微流体通道。

6.根据权利要求2所述的装置，其中，所述光发射器同时导引光穿过所述微流体通道和所述第二微流体通道。

7.根据权利要求2所述的装置，其中，所述第一微流体通道和所述第二微流体通道的相邻侧彼此间隔开小于或等于42μm。

8.根据权利要求1所述的装置，还包括沿着所述微流体通道的光学传感器，其中，所述光发射器包括沿着所述微流体通道的波导，以将光导引至所述光学传感器中的每个光学传感器。

9.一种方法，包括：

形成衬底；

在所述衬底之上形成微流体通道；

在所述衬底之上形成气泡喷射惯性泵，以泵送流体通过所述微流体通道；

在所述衬底之上形成光学传感器，以接收通过所述微流体通道的光；以及

在所述衬底上形成光发射器，以传送光穿过所述微流体通道到达所述光学传感器中。

10.根据权利要求9所述的方法，还包括在所述衬底之上形成第二微流体通道，其中，所述光学传感器与所述第二微流体通道相邻，以接收由所述光发射器发射的已经穿过所述第二微流体通道的光。

11.一种装置，包括：

衬底；

第一微流体通道，所述第一微流体通道由所述衬底支撑并且具有小于或等于42μm的宽度；

第二微流体通道，所述第二微流体通道由所述衬底支撑并且具有小于或等于42μm的宽度，其中，所述第一微流体通道和所述第二微流体通道的相邻侧被间隔开小于或等于42μm；

至少一个气泡喷射惯性泵，所述至少一个气泡喷射惯性泵与所述第一微流体通道和所述第二微流体通道相邻，以泵送流体通过所述第一微流体通道和所述第二微流体通道；

至少一个光学传感器，所述至少一个光学传感器在所述第一微流体通道和所述第二微流体通道中的每者的第一侧上；以及

至少一个光发射器，所述至少一个光发射器在所述第一微流体通道和所述第二微流体通道中的每者的第二侧上，所述至少一个光发射器发射光穿过所述第一微流体通道和所述第二微流体通道到达所述至少一个光学传感器。

12.根据权利要求11所述的装置，其中，所述第二微流体通道从所述第一微流体通道分支出来，并且其中，所述至少一个气泡喷射惯性泵包括：

第一气泡喷射惯性泵，所述第一气泡喷射惯性泵与所述第一微流体通道相邻以将流体选择性地泵送通过所述第一微流体通道；以及

第二气泡喷射惯性泵，所述第二气泡喷射惯性泵与所述第一微流体通道相邻以将流体选择性地泵送通过所述第二微流体通道。

13.根据权利要求11所述的装置，其中，所述第一微流体通道具有第一横截面积，并且其中，所述第二微流体通道具有与所述第一横截面积不同的第二横截面积。