[发明专利]压电振动部件及其制造方法有效
| 申请号: | 201580072237.3 | 申请日: | 2015-09-07 |
| 公开(公告)号: | CN107112973B | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
| 发明(设计)人: | 开田弘明;能登和幸;上庆一 | 申请(专利权)人: | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号: | H03H9/02 | 分类号: | H03H9/02;H01L23/02;H03H3/02 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李洋;青炜 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 压电 振动 部件 及其 制造 方法 | ||
1.一种压电振动部件,其中,具备:
基板,其具有安装压电振子的主面;
盖,其具有与所述主面对置地开口的凹部;以及
粘合层,其接合所述基板与所述盖,以便将所述压电振子密闭封存在所述凹部与所述主面之间的空间,
所述粘合层由第一粘合层和第二粘合层一体结合而成,所述第一粘合层仅仅设置于所述基板的所述主面,所述第二粘合层与所述第一粘合层结合,并且以包覆所述基板的所述主面和侧面的任意面的方式从基板的所述主面一直设置到所述侧面,
所述粘合层形成为从所述基板的所述主面直至所述侧面,包覆所述基板的所述主面和所述侧面的任意面的至少一部分,
所述第一粘合层以对应于所述盖待与所述主面接合的位置而围绕所述压电振子的方式呈框状地设置于所述主面。
2.根据权利要求1所述的压电振动部件,其中,
所述侧面的表面粗糙度大于所述主面的表面粗糙度。
3.根据权利要求1或者权利要求2所述的压电振动部件,其中,
所述粘合层是低融点玻璃粘合剂。
4.一种压电振动部件的制造方法,其中,具备:
准备基板的工序,所述基板具有安装压电振子的主面;
准备盖的工序,所述盖具有与所述主面对置地开口的凹部;以及
经由粘合层将所述压电振子密闭封存于所述凹部与所述主面之间的空间的工序,
所述粘合层由第一粘合层和第二粘合层一体结合而成,所述第一粘合层仅仅设置于所述基板的所述主面,所述第二粘合层与所述第一粘合层结合,并且以包覆所述基板的所述主面和侧面的任意面的方式从基板的所述主面一直设置到所述侧面,所述粘合层从所述基板的所述主面形成至所述侧面,包覆所述基板的所述主面和所述侧面的任意面的至少一部分,
所述第一粘合层以对应于所述盖待与所述主面接合的位置而围绕所述压电振子的方式呈框状地设置于所述主面。
5.根据权利要求4所述的压电振动部件的制造方法,其中,
在密闭封存所述压电振子的工序中,包含将所述盖与所述基板中的至少一方向相互对置的方向按压的步骤。
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