[发明专利]旋转工具心轴、加工平的基板的加工单元、和操作方法

权利要求书

1.一种用于加工平的基板的加工单元的旋转工具心轴，其中套筒（13）安装在所述旋转工具心轴上，所述旋转工具心轴包括：

- 圆柱芯（14）；

- 外周壁（17），

- 压力流体回路（21），所述压力流体回路（21）设于所述外周壁（17）与所述圆柱芯（14）之间，以及

- 冷却流体回路（24），所述冷却流体回路（24）允许流体流入所述圆柱芯（14）的区域，冷却所述心轴（12），

其特征在于，

所述外周壁（17）向所述套筒（13）施加径向压力来占据静止位置和锁定位置，将所述套筒（13）锁定于所述心轴（12）的适当位置，

所述压力流体回路（21）设置成向所述套筒（13）施加径向压力，以及

所述压力流体回路（21）和所述冷却流体回路（24）连接在一起。

2.根据权利要求1所述的心轴，其特征在于，所述冷却流体回路（24）的对接端口（22）设置在所述心轴（12）的前端，所述压力流体回路（21）的对接端口（23）设置在所述心轴（12）的后端。

3. 根据权利要求2所述的心轴，其特征在于，所述两个对接端口（22, 23）与所述心轴（12）的旋转轴线（A1, A2）成一直线。

4. 根据权利要求2或3所述的心轴，其特征在于，所述两个对接端口（22, 23）各包括所述心轴（12）的连接元件（26），用于与所述加工单元（7）的互补连接元件（27）接合，以将所述压力流体回路（21）连接到所述冷却流体回路（24）。

5.根据权利要求4所述的心轴，其特征在于，所述连接元件（26）和所述互补连接元件（27）采用快速连接器类型，当它们断开时占据闭合断流位置，当它们连接时占据打开位置，允许流体通过。

6. 根据权利要求1至3中任一项所述的心轴，其特征在于，所述压力流体回路（21）具有围绕所述圆柱芯（14）且与所述心轴（12）的旋转轴线（A1, A2）同轴的管形部分（21a）。

7. 根据权利要求6所述的心轴，其特征在于，在所述心轴（12）的每一轴颈（15, 16）处所述压力流体回路（21）具有至少一个轴向管道部分（21b），所述轴向管道部分与对接端口（22, 23）连通。

8.根据权利要求7所述的心轴，其特征在于，所述压力流体回路（21）包括至少一个管道部分（21c），所述管道部分（21c）用于将每一个轴向管道部分（21b）与所述管形部分（21a）连通。

9.一种加工平的基板的加工单元，所述加工单元包括至少一个根据前述权利要求中任一项所述的心轴（12）。

10.根据权利要求9所述的加工单元，其特征在于，所述冷却流体回路（24）与冷却流体的冷却模块（25）连接。

11.根据权利要求9或10所述的加工单元，其特征在于，所述压力流体回路（21）与所述冷却流体回路（24）连接形成闭合回路。

12.一种操作根据权利要求9至11中任一项所述的加工单元的方法，其特征在于，包括以下步骤：

- 仅将压力流体回路（21）的两个对接端口（22, 23）中之一与冷却流体回路（24）连接；

- 发送流体穿过所述压力流体回路（21），以致于外周壁（17）向套筒（13）施加径向压力，将所述套筒（13）锁定在所述心轴（12）的适当位置；以及

- 将所述压力流体回路（21）的所述两个对接端口（22, 23）与所述冷却流体回路（24）连接，并且使冷却的流体流过所述压力流体回路（21）来冷却所述心轴（12）。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，在闭合回路中流体流过所述压力流体回路（21），从而冷却所述心轴（12）。

14.根据权利要求12或13所述的方法，其特征在于，所述压力流体回路（21）中用于与所述冷却流体回路连接以将所述套筒（13）固定到所述心轴（12）的对接端口是设于驱动器对面并位于所述心轴（12）的后部的对接端口（23）。