[发明专利]微流体泵装置和方法有效
| 申请号： | 201580069679.2 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN107110148B | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | J·基梅尔 | 申请（专利权）人： | 诺基亚技术有限公司 |
| 主分类号： | F04B43/12 | 分类号： | F04B43/12;F04B19/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 杨晓光;于静 |
| 地址： | 芬兰*** | 国省代码： | 芬兰;FI |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微流体通道 电极 凝胶 变形 机电 微流体泵 电场 泵送 流体 施加 响应 配置 | ||
1.一种微流体泵装置(1)，包括：
在衬底(9)上形成的微流体通道(3)；
在所述衬底(9)上在所述微流体通道(3)的相对侧布置的至少一个电极对，其中，所述电极对被配置以控制所述微流体通道(3)上的电场；
在所述至少一个电极对之间提供的公共电极(45)；以及
在所述微流体通道(3)内提供的机电凝胶(5)；
其中，所述至少一个电极对被配置以控制所述微流体通道(3)上的所述电场，以使所述机电凝胶(5)响应于施加到所述电极上的电压而变形，以使得所述变形使流体(21)能够被泵送通过所述微流体通道(3)。
2.根据权利要求1所述的微流体泵装置，其中，所述至少一个电极对被配置以使所述电压能够与流体(21)在所述微流体通道(3)内流动的方向垂直地提供。
3.根据权利要求1或2所述的微流体泵装置，其中，所述至少一个电极对被配置以在所述微流体通道(3)上提供电压。
4.根据权利要求1或2所述的微流体泵装置，其中，所述至少一个电极对被配置以靠近所述微流体通道(3)地提供电压。
5.根据权利要求1所述的微流体泵装置，其中，所述装置包括多个电极对。
6.根据权利要求5所述的微流体泵装置，其中，所述多个电极对与流体(21)在所述微流体通道(3)内流动的方向平行地延伸。
7.根据权利要求5或6所述的微流体泵装置，其中，所述多个电极对被配置以在所述微流体通道(3)上顺序地施加电压，顺序地施加的电压使能蠕动泵动作通过所述微流体通道(3)。
8.根据权利要求1所述的微流体泵装置，其中，所述公共电极(45)沿着所述微流体通道(3)延伸，以使得在多个电极对之间布置相同的公共电极(45)。
9.根据权利要求1所述的微流体泵装置，其中，所述至少一个电极对被配置以使得在向所述电极施加电压时，所述机电凝胶(5)变形以在所述微流体通道(3)内形成腔(11)。
10.根据权利要求1所述的微流体泵装置，其中，所述至少一个电极对被配置以使得在向所述电极施加电压时，所述机电凝胶(5)变形以在所述微流体通道(3)内形成限制(13)。
11.根据权利要求1所述的微流体泵装置，进一步包括：
控制电路(53)，被配置以控制由所述电极对在所述微流体通道(3)上施加的电压。
12.根据权利要求1所述的微流体泵装置，进一步包括：
覆盖所述微流体通道(3)的衬底(49)。
13.根据权利要求12所述的微流体泵装置，进一步包括：
所述衬底(49)和所述机电凝胶(5)之间的膜，其中，所述膜具有比所述机电凝胶(5)更高的粘性。
14.根据权利要求1所述的微流体泵装置，其中，所述微流体通道(3)包括所述衬底(9)上的沟槽。
15.一种用于提供微流体泵的方法，包括：
在衬底(9)上提供微流体通道(3)；
在所述衬底(9)上在所述微流体通道(3)的相对侧提供至少一个电极对，其中，所述电极对被配置以控制所述微流体通道(3)上的电场；
在所述至少一个电极对之间提供公共电极(45)；以及
在所述微流体通道(3)内提供机电凝胶(5)；
其中，所述至少一个电极对被配置以控制所述微流体通道(3)上的所述电场，以使所述机电凝胶(5)响应于施加到所述电极上的电压而变形，以使得所述变形使流体(21)能够被泵送通过所述微流体通道(3)。
16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述至少一个电极对被配置以使所述电压能够与流体(21)在所述微流体通道(3)内流动的方向垂直地提供。
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