[发明专利]导电性氧化物烧结体、导电用构件、气体传感器、压电元件以及压电元件的制造方法

说明书

一种导电性氧化物烧结体，其包含具有组成式：RE_aCo_bCu_cNi_dO_x(其中，RE表示稀土元素，a+b+c+d＝1，1.25≤x≤1.75)所示的钙钛矿型氧化物晶体结构的晶相。系数a、b、c、d满足：0.474≤a≤0.512、0.050≤b≤0.350、0c0.250、0.050≤d≤0.350。

技术领域

本发明涉及导电性氧化物烧结体、使用其的导电用构件、气体传感器、压电元件以及压电元件的制造方法。

背景技术

作为电子部件的陶瓷制品具备陶瓷制的基体、和基体上设置的电极，电极由金属形成是普遍的。作为这种制品，例如有：具有Ni电极、Pd电极、或Pt电极的层叠陶瓷电容器；具有Ag电极、Cu电极、或Ag-Pd电极的LTCC部件(低温同时煅烧陶瓷)；具有Pd电极的压电致动器；具有W电极的半导体封装体；具有Ir电极、或Pt电极的火花塞等。

其中，Ni、Cu、W在与陶瓷基体一起煅烧时需要控制气氛，因此，难以发挥陶瓷基体原有的性能，且存在制造成本变高的问题。另一方面，Ag的熔点低(962℃)，因此陶瓷基体的材质受到限制，进而，由于在低温下煅烧，因此有时陶瓷基体的特性会降低。另外，Pd、Ir、Pt这样的贵金属材料昂贵，因此，难以适用于需要大面积的电极中。

专利文献1中，作为电极用的氧化物，公开了常温下的电阻值高、温度上升的同时电阻值减少的具有负电阻温度特性的镧钴系氧化物。专利文献2中公开了，具有室温左右的电阻值高、且高温下B常数的绝对值大这样特性的镧钴系氧化物。专利文献3中公开了磁头用非磁性基板材料，作为参考例，列举了La(Co，Ni)O₃系氧化物。

然而，专利文献1、2中记载的导电性氧化物在室温下电阻率高，导电性不充分。专利文献3中记载的La(Co，Ni)O₃系氧化物记载有裂纹。产生裂纹时，电阻增大，因此仍不适合作为电极用材料。

由金属形成陶瓷制品的电极时，会产生上述各种问题，因此，本申请的发明人研究了用氧化物(陶瓷)替换电极。然而，以往的氧化物与金属相比时，电导率极低，且B常数(温度系数)大，因此，难以代替金属。需要说明的是，作为电导率大的氧化物，已知有钌系氧化物(RuO₂、SrRuO₃等)，但存在Ru昂贵这样的问题。因此，本申请的申请人在专利文献4中公开了，电导率高、且B常数(温度系数)小、适合作为导电性材料的氧化物烧结体。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利第3286906号公报

专利文献2：日本特开2002-87882号公报

专利文献3：日本特开平06-275724号公报

专利文献4：国际公开第2013/150779号公报

发明内容

发明要解决的问题