[发明专利]运输机构、用于处理物品的机构和运输方法

说明书

一种运输设备包括被配置成沿运输路径对待运输物品的运输进行支撑的运输装置，其中所述待运输物品是半导体薄片、玻璃板或者聚合物板；和至少一个弹性辊，用于将所述待运输物品压靠所述运输装置。所述弹性辊具有轮毂和辊环，所述辊环通过围绕所述轮毂的圆周分布的多个辐条弹性安装在所述轮毂上。每个所述辐条包括被连接到所述轮毂的第一段、被连接到所述辊环的第二段和位于第一段与第二段之间的第三段，所述第三段比第一和第二段关于径向倾斜得更多。

技术领域

本发明涉及一种运输机构、用于处理物品的机构，包括这种运输机构和运输方法。

背景技术

经常需要运输设备运输物品和通过例如加工厂的工厂处理物品。这里已经知道不同的运输装置。US4,089,339示出例如一种清洁工件的设备，其中所述工件是借助于皮带传动来运输的。从US2003/0194309A1已知一种运输设备，这种运输设备包括由运输辊和将板形物品压紧运输辊的压紧辊。WO 2010/009865A1也公开了这样的运输装置，即运输装置能够设置压紧装置或者发生来自顶部的润湿，从而能够省去机械压紧装置。

在借助于辊、皮带、条带或链线性运输轻的、薄的、敏感的刚性或柔性基片通过浸渍、喷洒、溢流或者干燥工序部分的过程中，在各个部分中产生的作用力能够相反地影响基片的通过位置或者可能损坏基片。例如，所述基片可能扭曲、平移或者褶皱(错向)并且所述基片的表面可能分别受到机械影响。由于各自的惯性压力(液体-气体)、湍流(液体-气体)和升起和粘附性能，可能发生这种结果。因此，将轻的、薄的基片压紧在运输装置上是必需的。现有的压紧技术，例如自由支撑的O形环辊衬套表明O形环产生的擦痕可能对基片表面产生不利的性能。进一步地，通过打开和破坏衬套，在所述基片上遭到冲击力，这可能再次不利地影响基片的位置和性能。

一个替代选项是借助于海绵辊实施压紧。然而，由于快速改变的材料性能，借助于海绵辊进行压紧具有缺陷。进一步地，海绵辊具有低的耐磨性，最终分别导致增加的成本和过程不定性。

在化学过程中使用过程流体压力的压紧系统在基片表面上潜在地产生表面图案的形成，这在进一步处理基片过程中可能分别对后续过程步骤产生负面影响或者可能限制它的功能。进一步地，由于单边增加的介质压力(液体-气体)，所述基片可能被损坏。

发明内容

本发明的目的是提供一种构思，它允许方向稳定地机械压紧物品，并因此小心地运输以及小心地处理物品。

这个目的通过根据权利要求1所述的运输设备、根据权利要求12所述的处理设备和根据权利要求13所述的方法解决。

本发明的实施例提供一种被配置成沿着运输路径运输待运输物品的运输设备，所述运输设备包括至少一个弹性辊，用于将待运输物品靠着运输装置保持。所述运输设备能够包括驱动机构，所述驱动机构被配置成驱动所述至少一个弹性辊，从而所述至少一个弹性辊与所述待运输物品同步移动。由此，待运输物品和弹性辊之间的相对运动能够被阻止，允许甚至更小心地保持(例如压紧)物品。这在敏感物品的情形中是特别有利的。所述弹性辊能够主动地(被驱动)或被动地(从动)安装。

在本发明的实施例中，所述弹性辊包括轮毂和辊环，所述辊环通过围绕轮毂的周边分布的多个辐条弹性安装在所述轮毂上。每个辐条包括连接到所述轮毂上的第一段、连接到辊环上的第二段；和在第一段和第二段之间的第三段，相对于径向，所述第三段比第一段和第二段倾斜得更多。

通过围绕所述轮毂的周边分布，优选均匀分布多个这种辐条，所述辊环能够弹性安装在所述轮毂上。这分别允许例如使用相应的弹性辊和弹性垫圈,以靠着运输装置小心地保持待运输的物品。相应的弹性辊允许辊环处的与弹性垫圈的弹性变形无关的恒定圆周速度，以及正弦的且非常恒定的接触压力。因而，在没有作用在基片上的任何相对力的条件下，能够保证在运输部分中运输装置上的尽可能恒定的接触压力。