[发明专利]用于制造金属喷镀陶瓷衬底的方法在审
申请号: | 201580065913.4 | 申请日: | 2015-12-01 |
公开(公告)号: | CN107431031A | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 加布里埃尔·齐尔;亚历山大·罗格 | 申请(专利权)人: | 德国贺利氏公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/68;C04B37/02 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人: | 王朋飞,张晶 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 金属 陶瓷 衬底 方法 | ||
1.一种用于制造金属喷镀陶瓷衬底的方法,所述方法是包括如下方法步骤:
(1)将如下装置放置在载体上,所述装置包括至少一个第一金属层和一个陶瓷衬底;
(2)将从方法步骤(1)得到的装置加热到某一温度,使得在构造金属喷镀陶瓷衬底的情况下由于键合而发生由所述陶瓷衬底和所述附着的至少一个金属层构成的复合体,
其特征在于,
-所述载体在方法步骤(1)中在至少一个所述载体的边缘侧的棱边上具有至少一个衬垫,来自方法步骤(1)的装置在所述装置的至少一个边缘侧的部分区域以至少一个所述装置的外棱边放在所述至少一个衬垫上,并且
-所述至少一个衬垫布置在所述载体上,使得所述装置在放置在所述载体的衬垫上时是倾斜的,和/或
-所述具有至少一个衬垫的载体在方法步骤(1)中在将所述装置放置在所述至少一个载体衬垫上之后和/或在方法步骤(2)期间倾斜,
-并且其中,所述载体在至少一个所述载体的边缘侧的棱边上具有至少一个以至少一个挡块或者至少一个棱边的形式的限制件。
2.根据权利要求1所述的方法,所述方法包括如下附加的方法步骤:
(3)使来自方法步骤(2)的金属喷镀陶瓷衬底围绕着一个平行于所述金属喷镀陶瓷衬底的纵向或横向棱边走向的旋转轴旋转;
(4)将如下装置放置在载体上,所述装置包括来自方法步骤(3)的经旋转的金属喷镀陶瓷衬底和至少一个其它的金属层,如在权利要求1中所限定的那样;
(5)如在来自权利要求1的方法步骤(2)中那样,加热从方法步骤(4)得到的装置。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述载体基本上矩形地来构造并且具有至少一个衬垫,所述至少一个衬垫被布置为使得在将基本上矩形地构造的装置放置在所述载体的衬垫上时通过棱边5使所述装置倾斜,使得得到矩形装置的总共两个角6和7,所述两个角6和7在倾斜之后处在基本上相同的更低地布置的水平上。
4.根据权利要求1至3之一所述的方法,其特征在于,所述载体基本上矩形地来构造并且具有至少两个衬垫,所述至少两个衬垫被布置为使得在将基本上矩形地构造的装置放置在所述载体的衬垫上时通过两条棱边8和9使所述装置倾斜,使得矩形装置的总共只有一个角10处在最低的水平上。
5.根据权利要求1至4之一所述的方法,其特征在于,所述装置的在方法步骤(1)和/或方法步骤(2),以及必要时方法步骤(4)和/或方法步骤(5)中设置的倾斜被构造为使得发生所述装置的取向,和/或包括至少一个金属层和所述陶瓷衬底的装置的各个组成部分彼此间进行布置。
6.根据权利要求1至5之一所述的方法,其特征在于,所述载体在边缘侧包括至少两个衬垫,来自方法步骤(1)、以及必要时方法步骤(4)的装置在至少两个边缘侧的部分区域以至少两个所述装置的外棱边来放在所述至少两个衬垫上。
7.根据权利要求1至6之一所述的方法,其中,所述挡块中的至少一个同时也被构造为用于来自方法步骤(1)、以及必要时方法步骤(4)的装置的衬垫。
8.一种装置,所述装置包括至少一个金属层和一个陶瓷衬底,所述陶瓷衬底能根据按照权利要求1至7之一所述的方法来得到。
9.一种用于制造金属喷镀陶瓷衬底的载体,其特征在于,
-所述载体在至少一个所述载体的边缘侧的棱边上具有一个如下装置的衬垫,所述装置包括至少一个第一金属层和一个陶瓷衬底,其中所述至少一个衬垫布置在所述载体上,使得所述装置在放置在所述载体的衬底上是倾斜的和/或能倾斜,和/或
-所述载体倾斜和/或能倾斜,
-而且其中所述载体在边缘侧具有至少一个以至少一个挡块或者至少一个棱边的形式的限制件。
10.根据权利要求9所述的载体,其特征在于,所述载体被用在炉子中,尤其是被用在隧道炉或者连续循环炉中,用来制造金属喷镀陶瓷衬底,其中所述炉子为了对处理物进行热处理而配备有至少一个隧道状的炉内空间并且具有一个传送单元,所述传送单元传送所述载体经过所述炉内空间。
11.根据权利要求9或10之一所述的载体,其特征在于,所述载体在边缘侧包括至少两个衬垫,包括至少一个第一金属层和一个陶瓷衬底的装置在至少两个边缘侧的部分区域以至少两个所述装置的外棱边来放在所述至少两个衬垫上,其中所述装置的各个组成部分在所述载体的以至少一个挡块或者至少一个棱边的形式的至少一个边缘侧的限制件上彼此间进行布置。
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