[发明专利]基板监视装置及基板监视方法

说明书

一种基板监视装置，具备：摄像部(27)，其具有指定的摄像范围；配置部(26a)，其在摄像范围内配置基板(S)；照射部(29)，其构成为通过对配置于摄像范围内的基板(Sc(Se1))照射激光光线(L)，从而在基板的端部(So(Se1))产生激光光线的反射光及散射光的至少一方，而将端部(Se1)的影像形成于摄像部(27)的受光面；以及监视部，其监视摄像部(27)的摄像结果。

技术领域

本发明涉及一种监视基板的基板监视装置、及基板监视方法。

背景技术

在平板显示器的制造工序中，使用基板监视装置检测基板的裂纹、缺口，在基板上会形成元件及配线等。基板监视装置具备：从基板上方朝向基板照射激光光线的照射部；以及与照射部相对的摄像部，照射部与摄像部夹着基板设置。摄像部接收透过基板的透过光和不透过基板而到达摄像部的非透过光，基板监视装置依据透过光与非透过光的强度差异检测基板的裂纹、缺口(例如，专利文献1)。

【现有技术文献】

【专利文献】

[专利文献1]日本特开2011-149800号公报

发明内容

(发明所要解决的课题)

但是，上述基板监视装置为了检测基板的裂纹、缺口，摄像部必须接收透过光与非透过光两者，若在透过光的光程上与非透过光的光程上设置1个摄像部，则摄像部的位置大受限制。

本发明的目的为提供一种可提高摄像部的位置相对于照射部的位置的自由度的基板监视装置、及基板监视方法。

(用于解决课题的手段)

解决上述问题的基板监视装置具备：摄像部，其具有接收来自指定摄像范围的光的受光面；配置部，其在所述摄像范围内配置基板；照射部，其构成为通过对配置于所述摄像范围内的所述基板照射激光光线，从而在所述基板的端部产生所述激光光线的反射光及散射光的至少一方，将所述端部的影像作为摄像结果而形成于所述受光面；以及监视部，其监视所述摄像结果。

解决上述问题的基板监视方法包含：照射工序，通过对配置于摄像部具有的摄像范围内的基板照射激光光线，从而在所述基板的端部产生所述激光光线的反射光及散射光的至少一方，将所述端部的影像作为摄像结果而形成于所述摄像部的受光面；摄像工序，拍摄所述端部；以及监视工序，监视所述摄像结果。

采用上述构成时，因为摄像部的位置只须是藉由在基板的端部上的激光光线的反射光及散射光的至少一方在摄像部的受光面形成影像的位置即可，所以摄像部的位置相对于照射部的位置不限定于1个位置。所以可提高摄像部的位置相对于照射部的位置的自由度。

在上述基板监视装置中，所述照射部构成为，对所述基板照射所述激光光线，使所述激光光线透过所述基板内，而在所述端部使所述激光光线散射。

采用上述基板监视装置时，照射于基板的激光光线透过基板内部且在端部散射。因而可提高基板的端部中激光光线照射的部分以外部分的亮度。

在上述基板监视装置中，所述照射部构成为，对所述基板照射所述激光光线，通过在所述基板内的反射，使所述激光光线透过所述基板内，而在所述端部使所述激光光线散射。

采用上述基板监视装置时，因为激光光线在基板内反射，透过基板内部而射至基板端部，所以可将基板端部的影像形成于摄像部的受光面。

在上述基板监视装置中，所述基板的所述端部包含所述基板的端面，所述照射部将以通过对所述端面照射所述激光光线而从所述端面向所述基板的内部导入所述激光光线、并且从所述端面中的与导入所述激光光线的部位不同的部位导出所述激光光线的方式设有光轴的所述激光光线朝向与所述摄像部不同的位置照射。