[发明专利]成膜用油墨、成膜方法、具有膜的装置以及电子设备

说明书

提供一种抑制或者防止作为液滴供给到隔壁所具备的开口部内的成膜用油墨向隔壁面的渗出、由此能够以均匀的膜厚在开口部内对膜进行成膜的成膜用油墨以及成膜方法，此外，提供一种具有使用该成膜方法形成的膜的具有膜的装置以及电子设备。本发明的成膜用油墨(1)具有成膜材料和供上述成膜材料溶解或者分散的液性介质，上述液性介质含有粘度小于20cP的第一成分、以及相对于该第一成分在大气压上的沸点具有±30℃以内的大气压上的沸点且粘度为20cP以上的第二成分，相对于上述第一成分100重量份，上述第二成分包含20重量份以上500重量份以下的含量。

技术领域

本发明涉及成膜用油墨、成膜方法、具有膜的装置以及电子设备。

背景技术

作为成膜方法，例如，已知有使用液滴排出法将使成膜材料溶解于溶剂而得的成膜用油墨供给到基材上，并从该基材上的成膜用油墨中将溶剂去除，由此形成膜的方法(例如，参照专利文献1)。

提出了使用该成膜方法，形成例如有机电致发光(有机EL)元件的有机层(例如，发光层以及空穴输送层等)、滤色器的着色层以及布线基板的导体图案等。

这种有机层、导体图案等膜的图案化(成膜方法)以如下方式进行：在形成具备与应形成的膜的形状对应的开口部的隔壁(堤，bank)而确保了成膜区域之后，将成膜用油墨作为液滴向该开口部内进行供给，之后，加热而去除溶剂。

即，在该构成的膜的成膜方法中，通常，向表面被实施了防水化处理的隔壁所具备的开口部内供给成膜用油墨(液滴)，之后通过自然干燥以及减压干燥等进行加热，由此去除溶剂而对膜进行成膜。

此时，膜由于咖啡渍现象，成膜为中央部的膜厚较薄、隔壁边缘的膜厚较厚的形状，即，纵剖面形状为U字形状。

这里，纵剖面形状成为U字形状的膜是在通过加热被去除溶剂时，产生成膜材料在隔壁的隔壁面上渗出来的“渗出”而形成的。因此，该“渗出”的产生会引发难以形成具有均匀的膜厚的膜这一问题。

以消除该问题为目的，例如在专利文献2中提出了如下方案：以将基板载置于同一个工作台上的状态实施向开口部内供给液滴的涂覆工序和使液滴干燥的干燥工序，由此，迅速地进行各工序间的转变，抑制作膜材料的“渗出”，形成均匀的膜。此外，在专利文献2中，也提出了通过进一步重复进行多次这些涂覆工序与干燥工序，由此形成更均匀的膜。

然而，在该方法中，虽然能够抑制干燥时间相对较长油墨的自然干燥所导致的“渗出”，但不能有效地抑制干燥时间较短的减压干燥中产生的“渗出”，而且，存在制作实现该方法的装置需要巨大的成本这一问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-54270号公报

专利文献2：日本特开2006-346647号公报。

发明内容

发明将要解决的课题

本发明的目的在于，提供一种抑制或者防止作为液滴供给到隔壁所具备的开口部内的成膜用油墨向隔壁面的渗出、由此能够以均匀的膜厚在开口部内对膜进行成膜的成膜用油墨以及成膜方法，此外，提供一种具有使用该成膜方法形成的膜的具有膜的装置以及电子设备。

用于解决课题的手段

通过下述的本发明实现这种目的。

本发明的成膜用油墨的特征在于，具有：成膜材料；液性介质，上述成膜材料溶解或者分散于该液性介质，上述液性介质含有粘度小于20cP的第一成分、以及相对于该第一成分在大气压上的沸点具有±30℃以内的大气压上的沸点且粘度为20cP以上的第二成分，相对于上述第一成分的100重量份，上述第二成分被包含20重量份以上500重量份以下的含量。