[发明专利]具有改进的寿命的喷墨喷嘴装置有效
| 申请号： | 201580062742.X | 申请日： | 2015-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107000431B | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 安格斯·约翰·诺斯;克里斯多佛·布索尔·巴顿 | 申请（专利权）人： | 马姆杰特科技有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张瑞;郑霞 |
| 地址： | 爱尔兰*** | 国省代码： | 爱尔兰;IE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电阻加热器元件 钝化氧化物 铝化物层 喷墨喷嘴 氧化钽层 原子层沉积 喷嘴开口 油墨液滴 沉积 喷射 改进 | ||
1.一种喷墨喷嘴装置，包括用于通过喷嘴开口喷射油墨液滴的电阻加热器元件，所述电阻加热器元件包含：
具有天然钝化氧化物的铝化物层；以及
直接沉积在所述铝化物层的所述天然钝化氧化物上的氧化钽层，其中所述铝化物层是具有式TiAlX的金属间化合物，其中X不存在或X包含选自由Ag、Cr、Mo、Nb、Si、Ta和W组成的组中的一种或多种元素。
2.如权利要求1所述的喷墨喷嘴装置，其中所述金属间化合物是铝化钛。
3.如权利要求1所述的喷墨喷嘴装置，其中Ti贡献按重量计超过40％，Al贡献按重量计超过40％并且X贡献按重量计小于5％。
4.如前述权利要求任一项所述的喷墨喷嘴装置，其中所述金属间化合物是TiAlNbW。
5.如权利要求1-3中任一项所述的喷墨喷嘴装置，其中所述氧化钽层通过原子层沉积而沉积。
6.如权利要求4所述的喷墨喷嘴装置，其中所述氧化钽层通过原子层沉积而沉积。
7.如权利要求1-3和6中任一项所述的喷墨喷嘴装置，其中所述氧化钽层具有在5至50nm范围内的厚度。
8.如权利要求4所述的喷墨喷嘴装置，其中所述氧化钽层具有在5至50nm范围内的厚度。
9.如权利要求5所述的喷墨喷嘴装置，其中所述氧化钽层具有在5至50nm范围内的厚度。
10.如权利要求1-3、6和8-9中任一项所述的喷墨喷嘴装置，其中所述电阻加热器元件不存在任何防磨损或空化层。
11.如权利要求4所述的喷墨喷嘴装置，其中所述电阻加热器元件不存在任何防磨损或空化层。
12.如权利要求5所述的喷墨喷嘴装置，其中所述电阻加热器元件不存在任何防磨损或空化层。
13.如权利要求7所述的喷墨喷嘴装置，其中所述电阻加热器元件不存在任何防磨损或空化层。
14.如权利要求1-3、6、8-9和11-13中任一项所述的喷墨喷嘴装置，其中所述电阻加热器元件不存在布置在所述氧化钽层上的任何附加层。
15.如权利要求4所述的喷墨喷嘴装置，其中所述电阻加热器元件不存在布置在所述氧化钽层上的任何附加层。
16.如权利要求5所述的喷墨喷嘴装置，其中所述电阻加热器元件不存在布置在所述氧化钽层上的任何附加层。
17.如权利要求7所述的喷墨喷嘴装置，其中所述电阻加热器元件不存在布置在所述氧化钽层上的任何附加层。
18.如权利要求10所述的喷墨喷嘴装置，其中所述电阻加热器元件不存在布置在所述氧化钽层上的任何附加层。
19.如权利要求1-3、6、8-9、11-13和15-18中任一项所述的喷墨喷嘴装置，包含喷嘴室，所述喷嘴室具有限定喷嘴孔的顶部、底板、以及在所述顶部与所述底板之间延伸的侧壁。
20.如权利要求4所述的喷墨喷嘴装置，包含喷嘴室，所述喷嘴室具有限定喷嘴孔的顶部、底板、以及在所述顶部与所述底板之间延伸的侧壁。
21.如权利要求5所述的喷墨喷嘴装置，包含喷嘴室，所述喷嘴室具有限定喷嘴孔的顶部、底板、以及在所述顶部与所述底板之间延伸的侧壁。
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