[发明专利]静电耗散装置

权利要求书

1.一种静电耗散装置，其配置成在平板显示器(FPD)制造期间耗散所述FPD和支承台之间的静电，所述装置包括：

a.X射线管，其中：

i.所述X射线管包括彼此电绝缘的阴极和阳极；

ii.所述阴极配置成用于朝向阳极发射电子；

iii.所述阳极配置成响应来自阴极的轰击电子而从X射线管发射出X射线；

b.壳体，其中所述壳体：

i.承载X射线管；

ii.是导电的；

iii.电联接到阳极并且与阴极电绝缘；

iv.具有靠近阴极的近端和靠近阳极的远端；

v.具有连接器，所述连接器位于所述近端并且配置成联接到用于提升FPD的致动器；

vi.包括在阳极的远端和壳体的远端之间的中空区域，所述中空区域具有开口以允许离子和X射线从所述中空区域向外通过；以及c.小于20毫米的最大外径。

2.根据权利要求1所述的装置，还包括电绝缘材料，其中所述电绝缘材料：

a.具有大于的导热率；

b.位于所述壳体和阴极之间；和

c.使所述壳体与阴极电绝缘。

3.根据权利要求1所述的装置，还包括罩盖，其中所述罩盖：

a.是电阻性的；

b.设置在壳体的远端上；和

c.配置成抵靠FPD的表面。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述罩盖具有开口，以允许离子和X射线从所述中空区域向外通过。

5.根据权利要求1所述的装置，其中，所述壳体由碳纤维复合材料制成。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述壳体具有：

a.小于0.05ohm*m的电阻率；和

b.在10keV的X射线能量情况下的大于40％的X射线透射率。

7.根据权利要求1所述的装置，其中，所述壳体的任一材料的最大原子序数是8。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述壳体基本包围所述X射线管的长度，并且所述壳体的长度大于所述X射线管的长度。

9.根据权利要求1所述的装置，其中，所述中空区域延伸超出所述阳极的远端3至10毫米的长度。

10.根据权利要求1所述的装置，还包括护套，其中所述护套：

a.包围所述阳极和壳体的至少一部分；

b.具有大于100ohm*m的电阻率；和

c.配置成将所述壳体与支承台电绝缘。

11.根据权利要求1所述的装置，其中，在10keV的X射线能量的情况下，围绕所述中空区域的壳体具有大于40％的X射线透射率。

12.一种静电耗散装置，其包括：

a.X射线管，其中：

i.所述X射线管包括彼此电绝缘的阴极和阳极；

ii.所述阴极配置成用于朝向阳极发射电子；

iii.所述阳极配置成响应来自阴极的轰击电子而从X射线管发射出X射线；

b.壳体，其中所述壳体：

i.包围X射线管的至少一部分并且承载所述X射线管；

ii.是导电的；

iii.电联接到阳极并且与阴极电绝缘；

iv.具有靠近阴极的近端和靠近阳极的远端；

v.包括在壳体的远端处的中空区域，所述中空区域远离阴极延伸超出阳极的远端；

vi.具有小于0.05ohm*m的电阻率；和

vii.对于壳体的任一材料，最大原子序数为8。

13.根据权利要求12所述的X射线源，其中：

a.所述壳体还包括致动器连接器；

b.所述致动器连接器设置在所述近端；

c.所述致动器连接器配置成联接到用于提升平板显示器的致动器；

d.所述致动器连接器是径向凹入的；

e.所述致动器连接器的最大外径小于所述壳体的最大外径。

14.根据权利要求12所述的装置，还包括电绝缘材料，其中所述电绝缘材料：

a.是电绝缘的；

b.具有大于的导热率；

c.设置在壳体和阴极之间；以及

d.将所述壳体与阴极电绝缘。