[发明专利]具有低畸变像差的显微镜

权利要求书

1.一种显微镜(10)，包括光学系统，所述光学系统限定照明束路径并且包括以下部件：

-光源(22、23、24、25、26)，所述光源提供光分布，

-显微镜物镜(21)，包括光瞳平面(PE)和焦点，

-扫描光学器件(35)，产生与所述显微镜物镜(21)的所述光瞳平面(PE)共轭的光瞳平面(PE′)，

-至少两个可变可调的束偏转单元(30A、30B)，以及

-凹面反射镜(36)，将至少可变可调的第一束偏转单元和可变可调的第二束偏转单元(30A、30B)的各自的点成像到彼此上，

其中所述光学系统将所述光分布中的至少一个点和所述焦点的相应点成像到彼此上，其中第一中间像光学地位于所述显微镜物镜与所述扫描光学器件之间，其中所述第二束偏转单元(30B)布置在所述共轭光瞳平面(PE′)中，

其特征在于，所述凹面反射镜(36)与所述第一束偏转单元(30A)和所述第二束偏转单元(30B)布置为使得所述照明束路径在所述凹面反射镜(36)处精确地反射一次，并且由所述凹面反射镜(36)造成的第一畸变和所述成像的第二畸变至少部分彼此补偿，所述第二畸变由所述第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A、30B)造成，

其中所述凹面反射镜(36)和所述第一束偏转单元(30A)和所述第二束偏转单元(30B)布置为用于所述第一畸变和所述第二畸变的补偿，使得在所述第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A、30B)的零位置，所述照明束路径的光轴(OA)在所述第一束偏转单元(30A)上的平面反射角的大小为所述光轴(OA)在所述凹面反射镜(36)处的平面反射角的大小的两倍。

2.如权利要求1中所述的显微镜，其中精确的一个凹面反射镜(36)布置在所述照明束路径中，光学地在所述第一束偏转单元(30A)与所述第二束偏转单元(30B)之间。

3.如权利要求2所述的显微镜，其中仅所述凹面反射镜(36)布置在所述照明束路径中，光学地在所述第一束偏转单元(30A)与所述第二束偏转单元(30B)之间。

4.如前述权利要求中任一项所述的显微镜，其中所述凹面反射镜(36)的曲率半径对应于所述凹面反射镜(36)与所述第一束偏转单元(30A)之间的光学路径长度和所述凹面反射镜(36)与所述第二束偏转单元(30B)之间的光学路径长度。

5.如权利要求4中所述的显微镜，其中所述凹面反射镜具有球形形状。

6.如权利要求5所述的显微镜，其中所述凹面反射镜(36)的曲率中心位于所述第一束偏转单元(30A)与所述第二束偏转单元(30B)之间。

7.如权利要求5所述的显微镜，其中所述凹面反射镜(36)的曲率中心位于围绕所述凹面反射镜(36)的中央入射点(Q)的圆弧上，所述圆弧行进穿过所述光学系统的光轴(OA)在所述第一束偏转单元和第二束偏转单元(30A、30B)上的入射点。

8.如权利要求7所述的显微镜，其中所述凹面反射镜(36)的曲率中心位于所述圆弧的中心。

9.如前述权利要求1至3中任一项所述的显微镜，其中所述光学系统具有补偿像散的光学器件(41)，在所述光源(22、23、24、25、26)与所述第一束偏转单元(30A)之间。

10.如权利要求9所述的显微镜，其中所述补偿像散的光学器件(41)为圆柱透镜。