[发明专利]改进的机电传感器

权利要求书

1.一种传感器，所述传感器具有随着机械形变而变化的电容从而允许所连接的电路来测量形变，所述传感器包括：

通过介电材料分隔的导电材料，电容器可操作为发生形变并且随着所述电容器的形变而改变电容；所述电容器被设置为具有扭转平面的结构，其中所述电容器通过支撑材料支撑在该配置中。

2.根据权利要求1所述的传感器，其中以下材料中的一种或多种是弹性的：所述支撑材料、所述电容器的导电材料、分隔所述电容器的导电材料的介电材料。

3.根据权利要求1或2所述的传感器，其中所述电容器是介电弹性体设备。

4.根据权利要求1至4中的任一项所述的传感器，其中所述支撑材料的弹性不超过大约所述电容器的导电材料和分隔所述电容器的导电材料的介电材料中的一种或多种。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的传感器，其中所述支撑材料的弹性小于所述电容器的导电材料和分隔所述电容器的导电材料的介电材料中的一种或多种。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的传感器，其中所述电容器被设置为具有周期性的扭转结构。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的传感器，包括形变调整特征，所述形变调整特征被配置为使得表面沿着所述电容器的扭转结构的中心延展，所述表面限定在所述传感器的弯曲形变之下所述支撑材料内相对延展和相对收缩的区域之间的接合处。

8.根据权利要求7所述的传感器，其中所述形变调整特征包括弹性小于关于所述电容器的区域中的支撑材料的材料。

9.根据权利要求8所述的传感器，其中所述形变调整材料包括沿着所述传感器的一侧延展的材料条带。

10.一种传感器的加工方法，所述方法包括如下步骤：

形成可变形的电容器，所述可变形的电容器包括通过介电材料分隔的由导电材料形成的两个或多个电极，

将所述电容器的一端相对于所述电容器的另一端进行旋转，从而将所述电容器配置为沿着各个部分相对于其他部分旋转的路径延展的形状；以及

提供关于所述电容器的支撑材料以支撑所述材料中的所述电容器。

11.根据权利要求9所述的传感器的加工方法，其中下面的材料中的一个或多个是挠性且顺从性的：所述电极的导电材料，分隔所述电极和所述支撑材料的介电材料。

12.根据权利要求9或10所述的传感器的加工方法，其中下面的材料中的一个或多个是挠性且顺从性的：所述电极的导电材料，分隔所述电极和所述支撑材料的介电材料。

13.根据权利要求9至11中的任一项所述的传感器的加工方法，其中所述电容器是介电弹性体设备。

14.根据权利要求9至12中的任一项所述的传感器的加工方法，包括向所述传感器的一端提供材料的步骤，所述材料的弹性小于所述支撑材料，并且可以操作用于阻止靠近条带的区域中的支撑材料的延展。

15.一种本质上如在此参考图9至图14所描述和说明的传感器。

16.一种本质上如在此参考图13所描述和说明的传感器的加工方法。