[发明专利]多功能分光装置

权利要求书

1.一种多功能分光装置，包括：

平行光产生部，配置成产生并发射平行光；

第一透镜，安装在由所述平行光产生部发射的所述平行光的发射方向上，并配置成相对于所述平行光的光轴聚焦所述第一透镜的中央部分中的光；

第二透镜，设置成面对所述第一透镜，并配置成将经由所述第一透镜的第一焦点且被扩散的光转换为平行光；

参照镜，安装成面对所述第二透镜以反射穿过所述第二透镜的光；

分束器，安装在所述第一透镜与所述第二透镜之间，并设置成将穿过所述第一透镜的一部分光反射到与所述第一透镜的光轴相交的方向上并且将其余的光朝着所述第二透镜透射；

第三透镜，配置成将经由所述分束器的光聚焦到测量对象上；

第四透镜，配置成聚焦通过所述测量对象反射的并反向穿过所述第三透镜和所述分束器的光；

第一光路开关，配置成切换光路使得由所述平行光产生部产生的、朝着除所述第一透镜以外的区域行进的、不穿过所述第一透镜的且通过所述分束器反射行进的光倾斜地入射到所述测量对象的表面上；以及

第二光路开关，配置成切换从所述第一光路开关行进经过所述测量对象且相对于所述第三透镜的光轴倾斜地行进的光的光路，以使从所述第一光路开关行进经过所述测量对象且相对于所述第三透镜的光轴倾斜地行进的光在与所述第三透镜的光轴平行的方向上行进。

2.根据权利要求1所述的多功能分光装置，其中，

所述第一光路开关包括第一倾斜镜，所述第一倾斜镜设置成反射通过所述分束器反射而行进的光，使得通过所述分束器反射而行进的光倾斜地入射到所述测量对象的表面上；

所述第二光路开关包括第二倾斜镜，所述第二倾斜镜倾斜地设置成反射从所述第一倾斜镜行进经过所述测量对象且相对于所述第三透镜的光轴倾斜地行进的光，以使从所述第一倾斜镜行进经过所述测量对象且相对于所述第三透镜的光轴倾斜地行进的光在与所述第三透镜的光轴平行的方向上朝着所述第四透镜行进。

3.根据权利要求2所述的多功能分光装置，还包括：

第五透镜，配置成将经由所述第四透镜的第二焦点扩散的光转换为平行光；以及

衍射光栅，相对于所述第五透镜的光轴倾斜地设置，并配置成使穿过所述第五透镜的平行光衍射并分离所述平行光。

4.根据权利要求3所述的多功能分光装置，还包括：

狭缝，所述狭缝位于所述第四透镜的所述第二焦点处，并且所述狭缝中形成有透射孔，所述透射孔配置成通过作为其中心的所述第二焦点透射光。

5.根据权利要求4所述的多功能分光装置，还包括：

第六透镜，配置成聚焦经由所述衍射光栅的零级衍射光；以及

第七透镜，配置成聚焦经由所述衍射光栅的一级衍射光。

6.根据权利要求5所述的多功能分光装置，还包括：

第一检测器和第二检测器，配置成检测分别通过所述第六透镜和所述第七透镜聚焦的光。

7.根据权利要求2所述的多功能分光装置，还包括：

第一快门，配置成移动进出所述平行光产生部与所述第一透镜之间的区域，并且透射或阻挡由所述平行光产生部产生的且朝着除所述第一透镜以外的区域行进的光；以及

第二快门，配置成移动进出所述第二透镜与所述参照镜之间的区域，并且将穿过所述第二透镜的光朝着所述参照镜透射或者吸收所述穿过所述第二透镜的光。

8.根据权利要求2所述的多功能分光装置，还包括：

光检测器，配置成检测穿过所述第四透镜的光，

其中，所述平行光产生部包括：

光源，配置成改变光的波长并发射光；以及

光源驱动器，配置成驱动所述光源，以使由所述光源发射的光的波长根据预定的变化条件而改变并且使得波长改变的光被发射。