[发明专利]连接连接器

说明书

技术领域

一或多个例示性实施例是关于一种连接连接器，且更特定言之，是关于一种可通常在长时间内周期使用而无电性质的恶化的连接连接器。

背景技术

通常执行电测试以判定诸如制造的半导体装置的测试目标装置的缺陷。举例而言，可通过将测试信号传输至测试装置来判定基板是否短路。测试装置及测试目标装置不直接相互接触，但通过使用叫作连接连接器的中间物而间接地相互接触。

此因为当测试装置的端子直接接触测试目标装置的终端时，在重复测试期间可擦伤或损伤端子。又，若端子受损伤，则测试装置或测试目标装置将必须被替换，所以总成本会增大。因此，当将连接连接器用作中间物时，测试目标装置可接触测试装置的连接连接器。当归因于重复接触而连接连接器受擦伤或损伤时仅需要替换连接连接器，所以可节省总替换成本。

KR 10-2006-0013429中揭示的各向异性传导性连接器为连接连接器的实例。

图1以及图2的各向异性传导性连接器(10)由矩形各向异性传导膜(10A)、整体地设置于各向异性传导膜(10A)的一个表面上的薄片状连接器(20)以及支撑各向异性传导膜(10A)的矩形板形支撑部分(30)构成。各向异性传导性连接器(10)中的各向异性传导膜(10A)由分别在厚度的方向上延伸的多个圆柱形传导路径形成部分(11)以及用于将此等传导路径形成部分(11)相互绝缘的绝缘部分(14)构成。在此实例中，根据栅格点的位置按恒定间距安置传导路径形成部分(11)。

薄片状连接器(20)包含可挠性绝缘薄片(21)且设置于各向异性传导膜(10A)上。在绝缘薄片(21)的厚度的方向上延伸的由金属形成的多个电极结构(22)根据对应于将为绝缘薄片(21)中的连接对象的电极的图案的图案在绝缘薄片(21)的平面方向上相互间隔开。又，绝缘薄片(21)具备对应于用于在各向异性传导膜(10A)中耦接的突出部分(15)的用于耦接的多个通孔(26)。

图3中示出的实施例类似于图1以及图2中示出的实施例。然而，图3与图1以及图2的不同之处在于，薄片状连接器(20)具有绝缘薄片(21)，其由其中设置与绝缘薄片(21)的两侧通信的空隙的网状织物、不织布纤维或多孔薄片形成。又，在绝缘薄片(21)的厚度的方向上延伸的由金属形成的多个电极结构(22)根据对应于将为绝缘薄片(21)中的连接对象的电极的图案的图案在绝缘薄片(21)的平面方向上相互间隔开。

在根据现有技术的连接连接器中，当端子触碰电极结构时，测试目标装置或电极结构的端子的表面可受到损伤。详言之，当测试目标装置的金属端子直接触碰由金属形成的电极结构时，两个表面可受到损伤。

损伤的表面可不仅降低连接连接器的耐久性，且也减小导电率。

发明内容

技术的课题

本发明是为了解决上述的问题而做成。一或多个例示性实施例包含一种可在长时间内周期使用而无电性质恶化的连接连接器。

解决问题的手段

根据一或多个例示性实施例，一种配置于测试目标装置与测试装置之间且设置以用于电性连接测试目标装置的端子与测试装置的衬垫的连接连接器，所述连接连接器包含：各向异性传导性薄片，由多个传导性部分构成，其中多个传导性粒子在弹性绝缘材料的区域处的厚度方向上延伸，区域对应于测试目标装置的端子以及配置于传导性部分之间且设置以用于支撑且隔离传导性部分的绝缘支撑部分；薄片状连接器，由设置于各向异性传导性薄片的上表面与下表面之间、插入于各向异性传导性薄片中且具有多个空隙的多孔薄片构成；以及多个电极，对应于传导性部分配置，且与多孔薄片整体耦接。电极中的每一个由金属材料形成且电性连接至传导性部分中的每一个。

电极中的每一个可位于传导性部分的上表面与下表面之间。

每一电极可具有对应于每一传导性部分的水平横截面的板的形状。

传导性部分中的每一个可包括配置于电极上方、接触测试目标装置的端子且由第一传导性粒子构成的第一传导性部分，以及配置于电极下且由第二传导性粒子构成的第二传导性部分。

第一传导性部分的第一传导性粒子的每单位面积的密度可大于第二传导性部分的第二传导性粒子的每单位面积的密度。

第一传导性部分的第一传导性粒子的平均直径可小于第二传导性部分的第二传导性粒子的平均直径。

薄片状连接器的位置可比各向异性传导性薄片的上表面与下表面之间的中间区域高。

薄片状连接器可位于各向异性传导性薄片的上表面与下表面的中间。