[发明专利]用于减少在管芯级激光剥离期间所受机械损伤的蓝宝石收集器

权利要求书

1.一种收集器系统，其包括：

腔，具有用于接收经由激光剥离从基台释放的芯片的开口；

耦合至所述腔的隧道，所述隧道具有从所述腔移除所述芯片的真空；

第一气刀，其在所述腔的上半部与所述隧道相对地耦合至所述腔，所述第一气刀提供进入所述腔的第一气流，所述第一气刀成角度向下朝向所述腔的下半部；和

第二气刀，其在所述腔的下半部与所述隧道相对地耦合至所述腔，所述第二气刀提供进入所述腔的第二气流，所述第二气刀成角度向上朝向所述腔的上半部。

2.如权利要求1的收集器系统，其中所述隧道包括具有宽端和窄端的张开部分，所述宽端耦合至所述腔。

3.如权利要求1的收集器系统，其中所述开口由至少一个从所述开口朝外倾斜的斜壁定义。

4.一种收集器系统，包括：

腔，具有用于接收经由激光剥离从基台释放的芯片的开口，所述开口由至少一个从所述开口朝外倾斜的斜壁定义；

耦合至所述腔的隧道，所述隧道具有从所述腔移除所述芯片的真空，且所述隧道包括具有宽端和窄端的张开部分，所述宽端耦合至所述腔；

空气推进器，所述空气推进器在所述腔的下半部与所述隧道相对地耦合至所述腔，所述空气推进器向所述腔内提供气流，并且所述空气推进器成角度地朝向所述腔的上半部；以及

另一空气推进器，所述另一空气推进器在所述腔的上半部与所述隧道相对地耦合至所述腔，所述另一空气推进器向所述腔中提供气流并且成角度地朝向腔的下半部。

5.如权利要求4的收集器系统，其中所述收集器系统的底侧相对于所述基台的平面倾斜。