[发明专利]基于振动或声学特性分析的晶片夹持检测

权利要求书

1.一种工件夹持状态检测系统，包括：

具有夹持表面的夹持设备，其中所述夹持设备被配置为选择性地将工件夹持到所述夹持表面；

振动诱发机构，不与所述夹持设备物理接触，其中所述振动诱发机构被配置为经由从所述振动诱发机构发射声波来选择性地振动所述夹持设备和工件中的一个或多个；

振动感测机构，不与所述夹持设备物理接触，其中所述振动感测机构被配置为检测所述夹持设备和工件中的一个或多个的振动；以及

控制器，被配置为确定与将所述工件夹持到所述夹持表面相关联的夹持状态，其中所述夹持状态与检测到的所述夹持设备和工件中的一个或多个的振动相关联。

2.根据权利要求1所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述振动诱发机构包括声学设备。

3.根据权利要求2所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述声学设备包括振动发射器，所述振动发射器包括音频扬声器。

4.根据权利要求2所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述振动感测机构包括加速度计，所述加速度计包括麦克风。

5.根据权利要求1所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述振动诱发机构包括超声波发射器，并且所述振动感测机构包括超声波接收器。

6.根据权利要求5所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述超声波发射器和超声波接收器由超声波换能器来限定。

7.根据权利要求1所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述控制器被配置为区分与所述夹持状态相关联的阻抗模式。

8.根据权利要求1所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述夹持设备包括静电夹具，并且所述夹持表面包括配置为将所述工件静电夹持到其上的大致平坦的表面。

9.根据权利要求1所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述夹持设备包括机械夹具。

10.根据权利要求9所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述机械夹具包括配置为选择性地夹紧所述工件的周边边缘的一个或多个夹子。

11.根据权利要求1所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述振动感测机构包括激光装置，其中所述激光装置被配置为将激光束引向所述工件的表面，并且检测来自工件的表面的所接收的激光束反射的调制，其中所接收的激光束反射的调制与工件相对于夹持设备的振动相关联。

12.根据权利要求1所述的工件夹持状态检测系统，其中，所述工件的质量小于所述夹持设备的质量。

13.一种用于检测夹持设备中的工件的夹持状态的方法，所述方法包括：

将所述工件的表面夹持到所述夹持设备的夹持表面；

经由从不与所述夹持设备物理接触的振动诱发机构发射声波来诱发在所述夹持设备和工件中的一个或多个内的振动；

经由检测对所述声波的反射来检测所述夹持设备和工件中的一个或多个的振动；以及

确定与将所述工件夹持到所述夹持表面相关联的夹持状态，其中所述夹持状态与检测到的所述夹持设备和工件中的一个或多个的振动的谐振频率相关联。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，诱发在所述夹持设备和工件中的一个或多个内的振动包括：向所述夹持设备和工件中的一个或多个发射声波。

15.根据权利要求14所述的方法，其中，检测所述夹持设备和工件中的一个或多个的振动包括：一旦所述声波从所述夹持设备和所述工件中的一个或多个反弹离开，检测所述声波。