[发明专利]玻璃基板的制造方法及板状的玻璃

权利要求书

1.一种玻璃基板的制造方法，其具备：

(I)在板状的玻璃上形成贯通孔的工序；

(II)使用对波长120nm～300nm的范围内的规定的波长λ₁的光具有感光性的树脂组合物以覆盖所述贯通孔的方式在所述板状的玻璃的一个主面上形成树脂层的工序；

(III)从所述板状的玻璃的另一主面侧照射包含所述波长λ₁的光U而使所述树脂层的覆盖所述贯通孔的部分感光的工序；和

(IV)将所述树脂层的在工序(III)中感光后的部分除去而形成贯穿所述树脂层的树脂贯通孔的工序，

所述板状的玻璃在所述波长λ₁下的光透射率为1％以下、并且在所述工序(III)中以使所述树脂层不被入射至所述板状的玻璃的所述另一主面的所述光U感光的方式保护所述树脂层免受所述光U影响。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述工序(I)具备：

(I－a)通过对所述板状的玻璃照射激光而在所述板状的玻璃的照射过激光的部分形成变质部的工序；和

(I－b)通过使用对所述变质部的蚀刻速率比对所述板状的玻璃的未形成所述变质部的部分的蚀刻速率大的蚀刻液对至少所述变质部进行蚀刻，从而在所述板状的玻璃上形成所述贯通孔的工序。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板的制造方法，其中，所述激光具有波长250nm～535nm的范围内的规定的波长λ₂。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其中，在所述工序(II)中，在所述板状的玻璃的所述一个主面的、偏离所述贯通孔规定距离的位置形成光学元件。

5.根据权利要求1所述的玻璃基板的制造方法，其还具备(V)在所述贯通孔的内部及所述树脂贯通孔的内部形成贯穿电极的工序。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板的制造方法，其中，在所述工序(V)中，在至少所述贯通孔的内周面形成用于使构成所述贯穿电极的导电材料附着的籽晶层后，通过镀敷形成所述贯穿电极。

7.根据权利要求5所述的玻璃基板的制造方法，其还具备(VI)在所述工序(V)之后除去所述树脂层而使所述贯穿电极中在所述树脂贯通孔的内部被所述树脂层包围的部分露出的工序。

8.根据权利要求6所述的玻璃基板的制造方法，其还具备(VI)在所述工序(V)之后除去所述树脂层而使所述贯穿电极中在所述树脂贯通孔的内部被所述树脂层包围的部分露出的工序。

9.一种板状的玻璃，其是供于权利要求3所述的玻璃基板的制造方法的板状的玻璃，

该板状的玻璃在所述波长λ₁下的光透射率为1％以下、且对所述波长λ₂的光的吸收系数为50cm^－1以下，

在使用所述树脂组合物在该板状的玻璃的一个主面上形成树脂层后，从该板状的玻璃的另一主面侧照射包含所述波长λ₁的所述光U时，该板状的玻璃以使所述树脂层不被入射至该板状的玻璃的所述另一主面的所述光U感光的方式保护所述树脂层免受所述光U影响。