[发明专利]安置于具有一个或者多个腔体的金属衬底上的碳纳米管有效
申请号: | 201580055441.4 | 申请日: | 2015-10-13 |
公开(公告)号: | CN107004607B | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | C·V·恩固因;V·V·彼 | 申请(专利权)人: | 恩瑟玛公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 | 代理人: | 翟羽 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 置于 具有 一个 或者 多个腔体 金属 衬底 纳米 | ||
1.一种包括碳纳米管的金属衬底,所述碳纳米管被直接地附接到所述金属衬底的两个对置侧上,所述金属衬底包含一个或者多个腔体,其中所述金属衬底具有低于约250μm的均方根粗糙度。
2.根据权利要求1所述的金属衬底,其中所述一个或者多个腔体包括于所述金属衬底造成缺口的孔。
3.根据权利要求1所述的金属衬底,其中所述金属衬底包括铁、镍、铝、钴、铜、铬、金和它们的组合。
4.根据权利要求1所述的金属衬底,其中所述金属衬底包括铁、镍、钴、铜、铬、铝、金和它们的组合中的两个或者多个的合金。
5.一种装置,包括:
器件;
散热片;以及
根据权利要求1所述的金属衬底,其安置于所述器件与所述散热片之间;
其中安置于所述金属衬底的碳纳米管与所述器件和所述散热片导热性接触。
6.根据权利要求1所述的金属衬底,其中所述碳纳米管与所述的金属衬底垂直地对齐,并与所述的金属衬底垂直地定向。
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