[发明专利]使用THz频段的检查装置

说明书

本发明的检查装置(1)具备：THz波照射部(3)，其对被检查物(2)照射THz波；THz波探测部(5)，其检测被照射到被检查物(2)上的THz波的透射波(4)或反射波(22)；以及信息处理部(10)，其基于被照射THz波的被检查物(2)的透射波(4)或反射波(22)的强度数据，得到被检查物(2)的透射波(4)或反射波(22)的强度分布，信息处理部(10)获取透射波(4)或反射波(22)的二维强度分布，通过对检测没有附着异物(7)的被检查物(2)时得到的强度分布与在检查时检测被检查物(2)时得到的检查时强度分布进行比较，来检测在检查时的被检查物(2)上是否附着有异物(7)。被检查物例如是纸张类。对于附着在被检查物上的异物(7)，信息处理部(10)也可以根据基于异物(7)的折射率与没有附着异物(7)的被检查物(2)的折射率之差的透镜效应而产生的强度变化来检测。

技术领域

本发明涉及一种使用THz频段的检查装置，特别涉及能够容易地检测出附着在被检查物上的异物的使用THz频段的检查装置。

背景技术

例如像纸币那样的纸张类，由于每次使用时反复折叠，所以有时因长年的使用纸张类的一部分产生破损。这时，存在使用者在破损部位粘贴胶带等进行修复的情况。此外，还担心对纸张类因挖补等而粘贴胶带等来进行伪造。这样的纸张类已经不是正常的纸张类。

以往，为了将粘贴有胶带等的纸张类与其他正常的纸张类区分开，以接触式的机械方式测量微小的胶带厚度之差，从而掌握胶带的粘贴状況，但是存在如下等缺点：在胶带极薄的情况下会出现漏检，或者因机械接触而引起纸张类的破损。

于是，近年来，使用THz频段的物质检查方法快速发展起来。THz频段也被称作THz波，波长为10mm～25μm，即频率为30GHz(1GHz为10⁹Hz)～12THz的频段，具有以往的电波和光两方面的性质。THz波也被称作太赫兹光、太赫兹电磁波。

在专利文献1中公开了如下检查装置：将THz波照射到纸张类上，对因来自纸张类正面的THz波的反射波与来自纸张类背面的THz波的反射波之间的相位差而引起的干涉的强度进行检测，来检测纸张类的厚度和粘贴在纸张类上的异物。

在专利文献1公开的检查装置中，使1个波长固定激光和1个波长可变激光入射到辐射用光导(光电导)天线，通过辐射用光导(光电导)天线，产生与这些激光的频率差相当的THz波。

在专利文献2中公开了如下装置：将THz波照射到纸张类上，基于因来自纸张类正面的THz波的反射波与来自纸张类背面的THz波的反射波的相位差而引起的干涉的强度或振幅反射率，来求取纸张类的折射率。

在专利文献2公开的检查装置中，将第一及第二的1.5μm频段的通信用DFB激光，经由光纤或光纤耦合器进行混合，入射到第一发射器及第二发射器，通过第一发射器及第二发射器产生与第一及第二通信用DFB激光的频率差相当的THz波。第一发射器及第二发射器例如包括UTC-PD(单行载流子光探测器，uni-traveling-carrier photodiode)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2009-300279号公报

专利文献2：日本特开2011-34173号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在以往的使用THz波的测量中，检查装置比较复杂，还达不到通过检查来分辨在纸张类上是否粘贴有胶带类的程度。

本发明的目的在于提供一种使用THz频段的检查装置，能够以非接触方式高速及高效且容易地进行附着在被检查物上的异物的检测，例如纸张类上是否粘贴有胶带类的检测，而且成本很低。

用于解决问题的手段