[发明专利]固体浸没透镜保持器及图像取得装置

说明书

固体浸没透镜保持器(8)具备：第1构件(70)，其具有以球面部(6a)的一部分向物镜(21)侧突出的方式将球面部(6a)配置于内部的第1开口(71)；及第2构件(80)，其具有以抵接面(6f)向与物镜(21)侧相反侧突出的方式将抵接部(6d)配置于内部的第2开口(87)。第1构件(70)具有配置于第1开口(71)的物镜(21)侧的3个板构件(93)。在3个板构件(93)的各个，设置有构成为能够与球面部(6a)接触的突出部(73)。

技术领域

本发明的一个方面涉及一种固体浸没透镜保持器及具备固体浸没透镜保持器的图像取得装置。

背景技术

作为用于获得观察对象物的放大图像的透镜，已知有固体浸没透镜(SIL：SolidImmersion Lens)。固体浸没透镜是例如呈半球形状或称为魏尔斯特拉斯(Weierstrass)球的超半球形状且尺寸为1mm～5mm左右的微小透镜。若使该固体浸没透镜紧贴于观察对象物的表面而设置，则数值孔径(NA)及倍率同时扩大，因而可实现较高的空间分辨率下的观察。

作为用于在物镜的前方(观察对象物侧)保持这样的固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器，已知有例如专利文献1所记述的固体浸没透镜保持器。专利文献1所记述的固体浸没透镜保持器具有大于固体浸没透镜的球面部的收纳空间，可摇动地保持固体浸没透镜。由此，在使固体浸没透镜的底面(抵接面)抵接于观察对象物并紧贴时，在固体浸没透镜保持器内固体浸没透镜摇动而抵接面顺着观察对象物的表面而紧贴，从而能够达成固体浸没透镜与观察对象物的良好的紧贴。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-201407号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在上述专利文献1的固体浸没透镜保持器中，与固体浸没透镜的球面部接触的部分由具有与球面部相同的曲率的透镜支承面构成。在该构成中，由于球面部与透镜支承面面接触，因而接触面积变大。因此，在紧贴时，由于作用于固体浸没透镜的摩擦力而抑制了固体浸没透镜与固体浸没透镜保持器的摇动，从而存在固体浸没透镜的抵接面难以顺着观察对象物的表面的担忧。

本发明的一个方面的目的在于，提供一种能够容易地使固体浸没透镜顺着观察对象物而紧贴的固体浸没透镜保持器及具备固体浸没透镜保持器的图像取得装置。

解决问题的技术手段

本发明的一个方面所涉及的固体浸没透镜保持器是在物镜的前方保持固体浸没透镜的固体浸没透镜保持器，固体浸没透镜具有：球面部，其与物镜相对地配置；及抵接部，其包含抵接于观察对象物的抵接面；固体浸没透镜保持器具备：第1构件，其具有以球面部的一部分向物镜侧突出的方式将球面部配置于内部的第1开口；及第2构件，其具有以抵接面向与物镜侧相反侧突出的方式将抵接部配置于内部的第2开口；第1构件具有配置于第1开口的物镜侧的3个板部，在3个板部的各个，设置有构成为能够与球面部接触的突出部。

根据该固体浸没透镜保持器，以3个突出部与固体浸没透镜的球面部接触，因而可缩小相对于固体浸没透镜的接触面积。由此，能够缩小在固体浸没透镜摇动时对固体浸没透镜作用的摩擦力，可容易地滑动固体浸没透镜与固体浸没透镜保持器。其结果，能够容易地使固体浸没透镜顺着观察对象物而紧贴。

本发明的一个方面所涉及的固体浸没透镜保持器中，3个突出部也可以以120度间隔设置于第1开口的周向上。该情况下，能够在突出部接触于球面部时对固体浸没透镜的球面部均匀地施加力。由此，能够容易地使固体浸没透镜顺着观察对象物而紧贴。

本发明的一个方面所涉及的固体浸没透镜保持器中，通过3个突出部与球面部的接触位置、及球面部的曲率中心的直线可相对于物镜的光轴以15～65度的范围相交。该情况下，能够确保固体浸没透镜与固体浸没透镜保持器之间的良好的滑动。