[发明专利]具有声光调制器的调QCO2激光材料加工系统

权利要求书

1.调Q CO₂激光系统、尤其CO₂激光材料加工系统，具有用于射束成形的声光调制器（AOM），其特征在于，

a）为了调Q，两个相继地和优选地靠近谐振器端面反射镜（46）或者激光输出耦合板（4）布置的AOM（2、3）附有以下说明地被布置，即进入到第一AOM（2）上的一个射线束（8）被衍射，由此得出的经衍射的射线束（9）在第二AOM（3）处再次被衍射，并且所述由两次衍射而得出的束（10）在谐振器端面反射镜（46）或激光输出耦合板（4）处反射之后自身被反折，并且作为束（11）、（12）和（13）在所述两个AOM（2）和（3）处分别再次衍射之后被反馈到活性介质（1）中，并且因此当相应的开关电压被施加到所述两个AOM（2）和（3）上时，激光器功能被实现，并且在关断所述电压时，所述激光器功能被中断，其中所述AOM（2、3）通过声波在晶体中相同的激励频率和相反的传播方向来表征，和

b）如此产生的和借助于输出耦合元件（4、30）输出耦合的激光射束（16）在优选地用于激光材料加工的其应用之前，通过第三AOM（5）被发送，所述第三AOM（5）布置在谐振器之外并且优选地紧接在输出耦合元件（4、30）之后布置，其中为了应用，使用借助于相应的开关电压在所述第三AOM（5）处衍射的射束（17），并且所述声波在所述第三AOM（5）的晶体中的所述激励频率至少处于所述活性介质（1）的增益分布图的频率半值宽度的数量级中、优选地处于40和100 MHz之间。

2.按照权利要求1所述的调Q CO₂激光材料加工系统，其特征在于，仅使用所述第一AOM（2）或所述第二AOM（3）用于通过相应地可变地操控所述开关电压来对所述激光器进行功率调制/调Q，并且所述相应另一AOM利用恒定的开关电压工作。

3.按照权利要求1所述的调Q CO₂激光材料加工系统，其特征在于，使用所述第一AOM（2）或所述第二AOM（3）用于通过可变地操控所述开关电压来对所述激光器进行调Q，并且如此操控所述相应另一AOM，使得可自由选择的单脉冲或脉冲组被选择和/或经调Q的辐射的功率被改变。

4.按照权利要求1至3之一所述的调Q CO₂激光材料加工系统，其特征在于，所述外部第三AOM（5）被操控，使得由激光器所产生的辐射脉冲在其功率方面被适配于相应的应用目的，尤其所述脉冲之内的功率变化过程、特别是调Q峰值的峰值功率可以尽可能自由地被选择。

5.按照权利要求1至4之一所述的调Q CO₂激光材料加工系统，其特征在于，由ATFR反射镜（20）和λ/4移相器（21）组成的组合被布置在所述第三AOM（5）和所述工件（7）之间。

6.按照权利要求1至4之一所述的调Q CO₂激光材料加工系统，其特征在于，在所述工件（7）和所述第三AOM（5）之间在所述射束成形单元（6）中布置光学元件、优选地圆柱透镜，用于补偿由所述AOM（5）引起的射束变形。

7.按照权利要求1至3之一所述的调Q CO₂激光材料加工系统，其特征在于，所述外部第三AOM（5）被由两个或更多个AOM组成的AOM级联代替，并且输出耦合的激光射束（16）通过分束器和平面转向镜被划分成两个或更多个子射束，使得每个AOM被施加有所述子射束之一。