[发明专利]装载口及装载口的气氛置换方法

权利要求书

1.一种具有气氛置换功能的装载口，其载置基板收纳容器，用于使基板相对于所述基板收纳容器进出，所述基板收纳容器为了将多个基板载置收纳到内部而形成有在铅垂方向以一定的间隔配置的多个搁板，并且所述基板收纳容器具有用于使所述基板进出的第1开口部、以及能够将该第1开口部开闭的盖部，其特征在于，

具备：

载台，在该载台的第1位置载置并固定所述基板收纳容器；

载台驱动部，其使所述载台在所述第1位置、第2位置及第3位置之间进退移动；

门，其在从所述第1位置前进的位置、即所述第2位置与所述基板收纳容器的所述盖部卡合，相对于所述基板收纳容器装卸所述盖部；

门升降部，其使所述门升降移动；

框体，其在从所述第2位置进一步前进的位置、即所述第3位置与所述基板收纳容器的周缘部抵接；

开闭器部，其配置为能够局部开闭，在所述框体的与所述基板收纳容器相反的一侧，将被所述框体包围的第2开口部整体关闭；

开闭器驱动部，其选择性地驱动所述开闭器部的一部分进行开闭，以便在所述开闭器部的所期望的位置设置比所述第2开口部小的第3开口部；以及

至少一个净化喷嘴，其向所述基板收纳容器的内部供给净化气体。

2.根据权利要求1所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，

所述开闭器部具备以能够上下移动的方式堆叠配置的多个遮蔽板，

所述开闭器驱动部具备遮蔽板驱动部，该遮蔽板驱动部与所期望的位置的所述遮蔽板卡合，使该遮蔽板以及层叠在该遮蔽板之上的所述遮蔽板升降移动，由此将所述第3开口部开闭。

3.根据权利要求2所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，

所述开闭器部在与所述多个搁板位置对应的位置具有与所述搁板相同数量的所述遮蔽板。

4.根据权利要求2所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，

所述开闭器部具备比所述搁板的数量少的所述遮蔽板。

5.根据权利要求2至4中任一项所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，

所述遮蔽板驱动部改变所述遮蔽板的升降移动量，从而变更所述第3开口部的大小。

6.根据权利要求2至4中任一项所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，

所述遮蔽板驱动部将所述第3开口部开闭，使得该第3开口部达到与载置一张所述基板的所述搁板的各自的间隔相同的开口高度。

7.根据权利要求2至4中任一项所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，

所述遮蔽板驱动部能够选择性地将所述第3开口部开闭，使得该第3开口部达到与载置一张所述基板的所述搁板的各自的间隔相同的开口高度，或达到该间隔的整数倍的开口高度。

8.根据权利要求2至4中任一项所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，

所述遮蔽板配置为能够在通过定位轴而被限制的面内上下移动。

9.根据权利要求2至4中任一项所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，

在所述第3开口部的上方配置有通过所述遮蔽板驱动部而在上下方向上移动的檐部。

10.根据权利要求1至4中任一项所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，

所述净化喷嘴具备从所述基板收纳容器的底面供给所述净化气体的底面净化喷嘴。

11.根据权利要求9所述的具有气氛置换功能的装载口，其特征在于，

进一步在所述檐部具有朝所述第3开口部的周边喷出净化气体的开口部净化喷嘴。