[发明专利]用于传感器的传感器组件、传感器和由此形成的测量系统

权利要求书

1.一种传感器组件，所述传感器组件用于传感器，所述传感器组件包括：

-碗形的、即至少部分中凹的膜(111)，具有弯曲的第一表面(111+)和相反放置的第二表面(111#)；以及

-从所述膜的所述第一表面(111+)延伸的传感器叶片(112)；

-其中，所述膜被形成为使得所述第一表面(111+)的邻接所述传感器叶片的至少一个区域为凸形。

2.如权利要求1所述的传感器组件，其中，所述传感器组件用于记录在流动流体中形成的卡门涡街的压力波动的传感器。

3.如权利要求1所述的传感器组件，其中，所述第二表面(111#)是弯曲的第二表面(111#)和/或与所述第一表面(111+)至少部分地平行和/或至少部分地不平行的第二表面(111#)。

4.如权利要求1所述的传感器组件，其中，所述传感器叶片(112)是杆形或板形或楔形的传感器叶片(112)。

5.如权利要求1所述的传感器组件，

-其中，所述膜(111)被形成为使得所述第一表面(111+)的邻接所述传感器叶片(112)的区域为非球面；和/或

-其中，所述膜(111)被形成为使得所述第一表面(111+)的邻接所述传感器叶片(112)的区域相对于至少一个假想对称轴轴向对称。

6.如权利要求5所述的传感器组件，其中，所述对称轴平行于所述传感器叶片的惯性主轴，和/或所述对称轴垂直于所述传感器叶片的惯性主轴。

7.如权利要求1所述的传感器组件，其中，所述膜被形成为使得所述第一表面的邻接所述传感器叶片的区域相对于相互垂直的正好两个假想对称轴轴向对称。

8.如权利要求7所述的传感器组件，其中，所述对称轴中的至少一个平行于所述传感器叶片的惯性主轴，和/或所述传感器叶片的惯性主轴垂直于所述假想对称轴中的一个并且平行于另一个假想对称轴。

9.如权利要求1所述的传感器组件，其中，所述膜被形成为使得所述第一表面的邻接所述传感器叶片的区域是旋转对称的。

10.如权利要求9所述的传感器组件，其中，所述膜被形成为使得所述第一表面的邻接所述传感器叶片的区域是球形的。

11.如权利要求1所述的传感器组件，

-其中，所述膜的承载所述传感器叶片(112)的分段(111b)具有第一区以及第二区，所述第一区形成所述膜的中心并且具有第一厚度，所述第二区邻接所述第一区，并且具有不同于所述第一厚度的第二厚度，和/或

-其中，所述第二表面的、位于与第一表面的邻接所述传感器叶片的区域相反的至少一个区域为凹形；和/或

-其中，所述膜被形成为使得膜高度小于膜直径，所述膜高度被测量为所述第一表面的区域的中心与由所述第一表面的邻接所述传感器叶片的区域的外周边缘标记的假想投影区的最小间隔，所述膜直径被测量为所述投影区的最大直径。

12.如权利要求11所述的传感器组件，其中，所述第二区环绕所述第一区。

13.如权利要求11所述的传感器组件，其中，所述第一厚度小于所述第二厚度。

14.如权利要求11所述的传感器组件，其中，所述膜直径小于所述投影区的最大半轴或小于所述投影区的半径。

15.如权利要求11所述的传感器组件，其中，所述膜的直径与高度比小于30和/或大于2，所述直径与高度比被定义为所述膜直径与所述膜高度的比。

16.如权利要求15所述的传感器组件，其中，所述膜的直径与高度比小于20和/或大于5。