[发明专利]制造流体喷射芯片的方法、打印头、流体喷射芯片和喷墨式打印机

权利要求书

1.一种制造流体喷射芯片的方法，包括：

提供衬底；

在所述衬底上形成多个驱动元件；

形成多个驱动元件组，每个组包括所述多个驱动元件中的并联电耦接的至少两个驱动元件；

在所述衬底上形成多个流体喷射器件；以及

将所述多个流体喷射器件中的每个流体喷射器件与所述多个驱动元件组中的单个相应组电耦接，使得所述多个驱动元件根据图像数据选择性地激活所述多个流体喷射器件，以使流体从打印头中排出。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括在所述衬底上形成用于在所述流体喷射器件与流体源之间提供流体连通的通道的步骤。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述多个驱动元件包括多个晶体管。

4.根据权利要求1或2所述的方法，其中，将每个流体喷射器件与驱动元件的相应组电耦接的步骤包括在所述衬底上沉积电互连部件。

5.根据权利要求1或2所述的方法，其中，每个组包括四个驱动元件。

6.一种打印头，包括通过权利要求1至5中任一项所述的方法形成的流体喷射芯片。

7.一种流体喷射芯片，包括：

衬底；

多个驱动元件组，形成在所述衬底上，每个组包括至少两个并联电耦接的驱动元件；以及

多个流体喷射器件，布置在所述衬底上，所述多个流体喷射器件中的每个流体喷射器件与所述多个驱动元件组中的单个相应组电耦接，使得所述多个驱动元件根据图像数据选择性地激活所述多个流体喷射器件，以使流体从打印头中排出。

8.根据权利要求7所述的流体喷射芯片，其中，所述衬底还包括用于在所述流体喷射器件与流体源之间提供流体连通的通道。

9.根据权利要求8所述的流体喷射芯片，其中，所述多个流体喷射器件中的每个流体喷射器件与沿着所述通道竖直相邻的流体喷射器件在竖直方向上间隔开统一距离。

10.根据权利要求8或9所述的流体喷射芯片，其中，所述多个流体喷射器件形成两个列，各列位于所述通道的相对侧。

11.根据权利要求10所述的流体喷射芯片，其中，每个列相对于另一个列在竖直方向上偏移。

12.根据权利要求11所述的流体喷射芯片，其中，每个列相对于另一个列在竖直方向上偏移一距离，所述距离是所述多个流体喷射器件中的各竖直相邻的流体喷射器件之间的统一竖直距离的一半。

13.根据权利要求7或8所述的流体喷射芯片，其中，所述多个驱动元件组包括多个晶体管。

14.根据权利要求7或8所述的流体喷射芯片，其中，每个组包括四个并联电耦接的驱动元件。

15.一种喷墨式打印机，包括：

外壳；

滑动架，用于沿着布置在所述外壳内的轴进行往复运动；

一个或多个打印头组件，布置在所述滑动架上，使得所述一个或多个打印头组件根据控制机制随着所述滑动架沿所述轴进行往复运动而在打印媒介上喷射墨，其中，所述一个或多个打印头组件中的至少一个打印头组件包括：

打印头，所述打印头包括：

流体喷射芯片，所述流体喷射芯片包括：

衬底；

多个驱动元件组，形成在所述衬底上，每个组包括至少两个并联电耦接的驱动元件；以及

多个流体喷射器件，布置在所述衬底上，所述多个流体喷射器件中的每个流体喷射器件与所述多个驱动元件组中的单个相应组电耦接，使得所述多个驱动元件根据图像数据选择性地激活所述多个流体喷射器件，以使流体从打印头中排出。