[发明专利]具有吸收材料的磁机械共振器传感器

权利要求书

1.一种感测装置，包括：

磁偏置层，所述磁偏置层具有第一磁性表面和相背对的第二磁性表面，所述磁层包括第一电磁材料，

共振器，所述共振器具有第一共振器主表面和相背对的第二共振器主表面，所述共振器包括第二磁性材料，所述第二共振器主表面面向所述第一磁性表面，

间隔件，和

壳体，所述壳体容纳所述磁偏置层、所述共振器和所述间隔件，

其中所述间隔件包括环境变化接收器，

其中所述环境变化接收器的厚度响应于环境变量的变化而快速增加。

2.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述间隔件的至少部分设置在所述共振器与所述磁偏置层之间。

3.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述间隔件的至少部分设置在所述共振器的顶部上。

4.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述共振器的共振频率响应于所述环境变化接收器的厚度变化而偏移。

5.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述共振器响应于所述环境变化接收器的所述厚度变化而衰减。

6.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述环境变化接收器包括多孔材料。

7.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述环境变化接收器包括吸收性材料。

8.根据权利要求1所述的感测装置，其中所述环境变化接收器包括多个接收器元件。

9.根据权利要求8所述的感测装置，其中所述多个接收器元件中的至少一者设置在所述共振器与所述磁偏置层之间。

10.根据权利要求1所述的感测装置，还包括：

壳体，其中所述磁偏置层、所述共振器和所述间隔件设置在所述壳体中。

11.根据权利要求10所述的感测装置，其中所述壳体包括一个或多个开口，以允许流体分布到所述壳体中。

12.根据权利要求10所述的感测装置，其中所述壳体具有多个腔室。

13.根据权利要求12所述的感测装置，其中所述磁偏置层和所述共振器彼此设置在不同的腔室中。

14.一种感测装置，包括：

磁偏置层，所述磁偏置层具有第一磁性表面和相背对的第二磁性表面，所述磁层包括第一磁性材料，

共振器，所述共振器具有第一共振器主表面和相背对的第二共振器主表面，所述共振器包括第二磁性材料，所述第二共振器主表面面向所述第一磁性表面，

间隔件，所述间隔件设置在所述磁偏置层与所述共振器之间，其中所述间隔件包括环境变化接收器，和

壳体，所述壳体具有一个或多个开口，其中所述磁偏置层、所述共振器和所述间隔件设置在所述壳体中，

其中所述环境变化接收器的厚度响应于环境变量的变化而快速增加。

15.根据权利要求14所述的感测装置，其中所述间隔件的至少部分设置在所述共振器与所述磁偏置层之间。