[发明专利]光设备、终接器、波长可调谐激光设备以及用于制造光设备的方法

说明书

技术领域

本发明涉及光设备、终接器、波长可调谐激光设备以及用于制造光设备的方法。

背景技术

在光设备中，已经提出了用于减少光波导的端部处的光反射的各种结构。通常可将低反射结构分为两种类型。

一种类型适用于光波导的输出端与光设备的端面相匹配的情况。在这种情况下，通过将非反射涂层涂覆到端面来减少输出端处的反射光。通过调整光波导的布置来获得低反射结构的另一方法也是已知的。在这种情况下，通过相对于端面倾斜地布置光波导而不是使光波导垂直于端面，可减少端面处的反射光。

另一种类型适用于光波导的端部位于光设备之内的情况。在这种情况下，通过使光波导的端部渐缩，可使包层的折射率和光波导的等效折射率更接近。因此可抑制端部的菲涅耳反射并减少反射光。该方法适用于诸如二氧化硅光波导的波导，其中芯(光波导)与包层之间的折射率差很小。

此外，已经提出了提供终接器(terminator)来终接光设备内的光波导。例如，提出了这样一种方法(专利文献1)，即在OTDR(光时域反射计)测量中使具有终接器的光纤与要测量的光纤的端部相连并且降低在要测量的光纤的端部处所测量的返回光的强度的变化。根据该方法，可以准确地检测要测量的光纤的端部附近的断裂、弯折等等。

专利文献

PTL1：日本未审查专利申请公开No.2008-20226

发明内容

技术问题

然而，当该方法应用于光波导的端部位于光设备内部的情况时，发明人在上述方法中发现如下问题。当如在硅光波导的情况下芯的折射率与芯的折射率大不相同时，例如，即使当光波导的端部渐缩时，也难以充分地抑制反射光。在这种情况下，如果光波导的宽度可逐渐缩窄到约几纳米，则可充分地抑制菲涅尔反射。然而，由于微加工技术的局限性，很难形成具有约几纳米的窄宽度的光波导，并且由于实际原因光波导的宽度仅能被缩窄到约100nm。因此，需要这样一种结构，其中不管硅光波导的宽度如何都可使硅光波导低反射。

本发明是鉴于上述情况而做出的，并且本发明的目的是提供一种能够抑制光波导的端部处的反射光而不管光波导的宽度如何的光设备。

问题解决方案

根据本发明的一个方面的光设备包括：光波导，光通过该光波导传播，光波导形成于基板上；以及终接器，终接器按照终接器与光波导的一端相连的方式形成于基板上并且终接器包括弯曲光波导，弯曲光波导具有如下曲率，使得该曲率导致从光波导输入的输入光中的弯折损耗，该输入光随着输入光通过弯曲光波导传播而衰减。

根据本发明的一个方面的终接器按照终接器与光波导的一端相连的方式形成并且该终接器包括弯曲光波导，弯曲光波导具有如下曲率，使得该曲率导致从光波导输入的输入光中的弯折损耗，该输入光随着输入光通过弯曲光波导传播而衰减。

根据本发明的一个方面的波长可调谐激光设备包括：激光振荡器，该激光振荡器具有激光从其输出的端面；以及波长调节单元，波长调节单元调节激光的波长，其中波长调节单元包括：反射镜，该反射镜构成激光振荡器的端面与反射镜之间的激光谐振器；环形谐振器，该环形谐振器设置在激光谐振器中并且相对于激光具有可变有效折射率；第一光波导，第一光波导使波长调节单元的端面、反射镜以及环形谐振器耦合在一起；以及终接器，该终接器按照终接器与第一光波导的开路端相连的方式形成并且终接器包括弯曲光波导，弯曲光波导具有如下曲率，使得该曲率导致从第一光波导输入的输入光中的弯折损耗，该输入光随着输入光通过弯曲光波导传播而衰减，并且弯曲光波导的曲率小于构成环形谐振器的光波导的曲率。

根据本发明的一个方面的制造光设备的方法包括：在基板上形成光波导，光通过光波导传播；以及按照终接器与光波导的一端相连的方式在基板上形成终接器，终接器包括弯曲光波导，弯曲光波导具有如下曲率，使得该曲率导致从光波导输入的输入光中的弯折损耗，该输入光随着输入光通过弯曲光波导传播而衰减。

发明的有益效果

根据本发明，可以提供一种能够抑制光波导的端部处的反射光而不管光波导的宽度如何的光设备。

附图说明

图1是根据第一实施例的光设备的主要部分的顶视图；

图2是根据第二实施例的光设备的主要部分的顶视图；

图3是根据第三实施例的光设备的主要部分的顶视图；

图4是根据第四实施例的光设备的主要部分的顶视图；

图5是根据第五实施例的光设备的主要部分的顶视图；

图6是示意性地示出了根据第六实施例的光功能集成单元的配置的顶视图；以及