[发明专利]探针卡以及该探针卡所具备的层叠布线基板

权利要求书

1.一种探针卡，其特征在于，是被检查物的电气检查所使用的探针卡，具备：

母基板；

层叠布线基板，被安装于上述母基板的一个主面；

电源供给用电极，设置于上述母基板；

电源用连接电极，形成于上述层叠布线基板的与上述母基板相反一侧的主面，且连接有用于向上述被检查物供给电源的探针；

电源线，将上述电源供给用电极和上述电源用连接电极连接；以及

熔断部，被插入上述电源线且具有电流容量比上述电源线小的熔丝布线，

上述层叠布线基板具备被配置于上述母基板侧的陶瓷层和层叠于上述陶瓷层的树脂层，

上述电源线具有在上述母基板或者上述层叠布线基板的表面露出的露出部，

上述熔断部被设置于上述电源线的上述露出部。

2.根据权利要求1所述的探针卡，其特征在于，

在上述熔断部配置形成有上述熔丝布线的芯片部件。

3.根据权利要求1或者2所述的探针卡，其特征在于，

上述熔丝布线的线宽形成得比上述电源线的线宽细。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的探针卡，其特征在于，

上述熔丝布线由导电膏形成。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的探针卡，其特征在于，

上述熔断部被设置于上述层叠布线基板。

6.根据权利要求5所述的探针卡，其特征在于，

上述电源用连接电极在俯视时被配置于上述层叠布线基板的上述相反一侧的主面的中央，

上述熔断部被配置于该相反一侧的主面的周缘部。

7.根据权利要求1～4中任意一项所述的探针卡，其特征在于，

上述熔断部被设置于上述母基板。

8.一种层叠布线基板，其特征在于，是被检查物的电气检查所使用的探针卡所具备的层叠布线基板，具备：

陶瓷层；

树脂层，层叠于上述陶瓷层；

电源用连接电极，形成于上述树脂层的与上述陶瓷层相反一侧的主面，且连接有用于向上述被检查物供给电源的探针；

电源供给用外部电极，形成于上述陶瓷层的与上述树脂层相反一侧的主面；

电源线，将上述电源供给用外部电极和上述电源用连接电极连接；以及

熔断部，被插入上述电源线且具有电流容量比上述电源线小的熔丝布线，

上述电源线具有在上述树脂层的表面露出的露出部，

上述熔断部被设置于上述电源线的上述露出部。

9.一种层叠布线基板，其特征在于，是被检查物的电气检查所使用的探针卡所具备的层叠布线基板，具备：

陶瓷层；

树脂层，形成为俯视时的面积小于上述陶瓷层，且层叠于上述陶瓷层；

电源用连接电极，形成于上述树脂层的与上述陶瓷层相反一侧的主面，且连接有用于向上述被检查物供给电源的探针；

电源供给用外部电极，形成于上述陶瓷层的与上述树脂层相反一侧的主面；

电源线，将上述电源供给用外部电极和上述电源用连接电极连接；以及

熔断部，被插入上述电源线且具有电流容量比上述电源线小的熔丝布线，

上述电源线具有在上述陶瓷层的与上述树脂层对置的主面的未层叠有上述树脂层的区域露出的露出部，

上述熔断部被设置于上述电源线的上述露出部。