[发明专利]氮化镓衬底有效
| 申请号： | 201580040883.1 | 申请日： | 2015-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN106574398B | 公开（公告）日： | 2019-03-05 |
| 发明（设计）人： | 木山诚;弘田龙;中畑成二 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | C30B29/38 | 分类号： | C30B29/38;H01L21/205 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 韩峰;孙志湧 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氮化 衬底 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友电气工业株式会社，未经住友电气工业株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201580040883.1/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：单晶生长装置及使用该装置的单晶生长方法
- 下一篇：冷却材料
