[发明专利]在增加真空镀膜厂输送速度下的节能方法及装置有效
| 申请号： | 201580040807.0 | 申请日： | 2015-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN106574364B | 公开（公告）日： | 2019-08-02 |
| 发明（设计）人： | 哥德·克莱伊特;汤玛士·科茨;耶尔格·弗科斯基;奥拉夫·加韦 | 申请（专利权）人： | 格林策巴赫机械制造有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56;H01J37/32;H01J37/34 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 宋融冰 |
| 地址： | 德国阿斯巴*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 增加 真空镀膜 输送 速度 节能 方法 装置 | ||
【权利要求书】：
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