[发明专利]火花隙X射线源

权利要求书

1.一种x射线源，包括：

a.包括内腔的包封；

b.附着到所述包封的阳极和电子发射器；

c.所述阳极和所述电子发射器彼此间隔开且彼此电绝缘；

d.窗：

i.其包括环形形状；

ii.其为导电的；

iii.其透射x射线；以及

iv.其将所述腔的至少一部分与所述包封的外部分隔开；

e.所述阳极包含半球形状，其具有延伸到所述腔中并延伸到所述窗的所述环形形状的中空部的凸部分；

f.所述电子发射器能够朝向所述阳极发射电子；以及

g.所述阳极的所述凸部分包括被配置为响应于来自所述电子发射器的撞击电子而发射x射线的目标材料。

2.根据权利要求1所述的x射线源，进一步包括：

a.限定所述x射线管的至少一部分的壳，所述壳被电耦合到所述阳极并且与阴极电绝缘；

b.所述壳具有：

i.小于0.05ohm*m的电阻率；以及

ii.对于10keV的x射线能量的大于40％的x射线透射率。

3.根据权利要求2所述的x射线源，其中：

a.所述壳基板上限定所述阳极；

b.所述壳具有接近所述阳极的远端和接近所述阴极的近端；

c.所述x射线管具有接近所述阳极的远端和接近所述阴极的近端；

d.所述壳的远端延伸超过所述x射线管的远端而远离所述x射线管。

4.根据权利要求1所述的x射线源，其中：

a.所述阳极和所述电子发射器为导电的；

b.所述窗包含钨、碳纤维复合物、石墨或及其组合。

5.一种使用权利要求1的所述x射线源用于静电耗散的方法，所述方法包括：

a.从所述x射线源以360°圆向外将x射线发射到流体中，

b.电离所述流体中的颗粒；

c.以及使用在所述流体中的离子以降低在部件上的静电荷。

6.一种使用权利要求1的所述x射线源用于静电耗散的方法，进一步包括：

a.将所述X射线源与升降销相关联，所述升降销被配置为在装置的制造期间，对所述装置施加力以将所述装置从台上提升；以及

b.从在所述装置与所述台之间的所述x射线源发射x射线，同时提升或保持所述装置远离所述台；

c.电离在所述装置与所述台之间的空气中的颗粒；以及

d.使用所述空气中的离子以降低所述装置上的静电荷。