[发明专利]接合体及其制造方法、自带散热器的功率模块用基板及其制造方法、散热器及其制造方法有效
申请号: | 201580035553.3 | 申请日: | 2015-08-24 |
公开(公告)号: | CN106663663B | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 寺崎伸幸;长友义幸 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | H01L23/36 | 分类号: | H01L23/36;H01L25/07;H01L25/18 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 朴圣洁;王珍仙 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接合 及其 制造 方法 散热器 功率 模块 用基板 | ||
1.一种接合体,其接合由铝合金构成的铝部件与由铜或铜合金、镍或镍合金、或银或银合金构成的金属部件而成,其中,
所述铝部件由Si浓度在1质量%以上且25质量%以下的范围内的铝合金构成,
在所述铝部件与所述金属部件的接合部形成有Ti层,所述铝部件与所述Ti层及所述Ti层与所述金属部件分别被固相扩散接合。
2.一种自带散热器的功率模块用基板,其具备绝缘层、形成于该绝缘层的一面的电路层、形成于所述绝缘层的另一面的金属层及接合于该金属层的散热器,其中,
所述金属层的与所述散热器的接合面由铜或铜合金、镍或银构成,
所述散热器由Si浓度在1质量%以上且25质量%以下的范围内的铝合金构成,
在所述金属层与所述散热器的接合部形成有Ti层,所述金属层与所述Ti层及所述Ti层与所述散热器分别被固相扩散接合。
3.一种散热器,其具备散热器主体和接合于所述散热器主体的金属部件层,其中,
所述金属部件层由铜或铜合金、镍或镍合金、或银或银合金构成,
所述散热器主体由Si浓度在1质量%以上且25质量%以下的范围内的铝合金构成,
在所述散热器主体与所述金属部件层的接合部形成有Ti层,所述散热器主体与所述Ti层及所述Ti层与所述金属部件层分别被固相扩散接合。
4.一种接合体的制造方法,其为权利要求1所述的接合体的制造方法,该方法具备:
Ti与金属部件接合工序,对成为所述Ti层的Ti材料与所述金属部件进行固相扩散接合;及
铝部件与Ti接合工序,对接合有所述Ti材料的金属部件与所述铝部件进行固相扩散接合。
5.一种自带散热器的功率模块用基板的制造方法,其为权利要求2所述的自带散热器的功率模块用基板的制造方法,该方法具备:
Ti与金属层接合工序,对成为所述Ti层的Ti材料与所述金属层进行固相扩散接合;及
散热器与Ti接合工序,对接合有所述Ti材料的金属层与所述散热器进行固相扩散接合。
6.一种散热器的制造方法,其为权利要求3所述的散热器的制造方法,该方法具备:
Ti与金属部件层接合工序,对成为所述Ti层的Ti材料与所述金属部件层进行固相扩散接合;及
散热器主体与Ti接合工序,对接合有所述Ti材料的金属部件层与所述散热器主体进行固相扩散接合。
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