[发明专利]溅射用靶材及其制造方法有效
| 申请号： | 201580034459.6 | 申请日： | 2015-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN106574359B | 公开（公告）日： | 2018-11-09 |
| 发明（设计）人： | 小泽诚;安东勋雄 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C04B41/80;C04B35/01;C04B37/02 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艳;张永康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 用靶材 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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