[发明专利]脆性衬底的切断方法及划线装置有效
| 申请号： | 201580034054.2 | 申请日： | 2015-05-18 |
| 公开（公告）号： | CN106470814B | 公开（公告）日： | 2019-02-12 |
| 发明（设计）人： | 曾山浩 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;C03B33/033 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 杨林勋 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 脆性 衬底 切断 方法 划线 装置 | ||
【说明书】：
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