[发明专利]样品自动制作装置有效
| 申请号： | 201580030690.8 | 申请日： | 2015-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN106461516B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 上本敦;麻畑达也;佐藤诚;山本洋 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;H01J37/31;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王艳波;张颖玲 |
| 地址： | 日本国东京都港*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 样品 自动 制作 装置 | ||
【权利要求书】：
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