[发明专利]在晶片检验期间确定定位于收集孔隙中的光学元件的配置有效
申请号: | 201580029498.7 | 申请日: | 2015-06-26 |
公开(公告)号: | CN106415249B | 公开(公告)日: | 2018-06-12 |
发明(设计)人: | P·科尔钦;M·奥利莱;魏军伟;D·卡普;G·陈 | 申请(专利权)人: | 科磊股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/88 | 分类号: | G01N21/88;G01N21/95;H01L21/66 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 张世俊 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学元件 图像 计算机子系统 配置 额外图像 检测器 晶片检验 配置的 组收集 建构 晶片 检测 | ||
【说明书】:
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