[发明专利]具有应力去耦结构的MEMS构件和具有这种MEMS构件的元器件有效
| 申请号： | 201580029425.8 | 申请日： | 2015-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN106458570B | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | J·克拉森;J·赖因穆特;M·哈塔斯;R·赖兴巴赫;A·皮格勒尼耶 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 应力 结构 mems 构件 这种 元器件 | ||
【说明书】：
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