[发明专利]一种磨片装置有效

专利信息
申请号: 201580029070.2 申请日: 2015-03-31
公开(公告)号: CN106664797B 公开(公告)日: 2019-04-23
发明(设计)人: 刘洋;丁海幸 申请(专利权)人: 华为技术有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 代理人: 冯艳莲
地址: 518129 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 装置
【权利要求书】:

1.一种磨片装置,其特征在于,包括:支撑座、用于夹持切片样品的夹持装置及用于研磨切片样品的研磨装置,其中,

所述夹持装置及所述研磨装置分别设置在所述支撑座上,且所述夹持装置夹持的切片样品朝向所述研磨装置的研磨盘;还包括驱动装置,所述驱动装置驱动所述夹持装置及所述研磨装置中的至少一个装置朝向另一个装置移动,使所述研磨盘研磨所述切片样品;

还包括调整装置,所述研磨装置通过调整装置与所述支撑座连接,且所述调整装置用于调整所述研磨装置的研磨面与水平面的夹角;或,

还包括调整装置,所述夹持装置通过所述调整装置与所述驱动装置连接,且所述调整装置用于调整所述夹持装置夹持的切片样品与水平面的夹角。

2.如权利要求1所述的磨片装置,其特征在于,所述驱动装置为丝杠,所述夹持装置通过所述丝杠与所述支撑座螺旋连接。

3.如权利要求1所述的磨片装置,其特征在于,所述驱动装置为驱动气缸,所述驱动气缸的缸体固定在所述支撑座,所述驱动气缸的活塞杆与所述夹持装置固定连接。

4.如权利要求1所述的磨片装置,其特征在于,所述夹持装置包括基座,以及与所述基座固定连接的多个卡装所述切片样品的卡爪。

5.如权利要求1所述的磨片装置,其特征在于,所述调整装置包括至少三个调整杆,且每个调整杆包括与所述研磨装置固定连接的第一螺纹杆、与所述支撑座固定连接的第二螺纹杆,以及与所述第一螺纹杆及第二螺纹杆螺纹连接的螺纹管,其中,所述第一螺纹杆及所述第二螺纹杆上的螺纹的旋向相反。

6.如权利要求1所述的磨片装置,其特征在于,还包括设置在所述研磨装置上,并用于检测所述研磨装置的研磨面与水平面的夹角的水平仪。

7.如权利要求1所述的磨片装置,其特征在于,所述调整装置包括至少三个调整杆,且每个调整杆包括与所述夹持装置固定连接的第一螺纹杆、与所述驱动装置固定连接的第二螺纹杆,以及分别与所述第一螺纹杆及第二螺纹杆螺旋连接的螺纹管,且所述第一螺纹杆及第二螺纹杆的旋向相反。

8.如权利要求1所述的磨片装置,其特征在于,还包括设置在所述夹持装置上,并用于检测所述切片与水平面的夹角的水平仪。

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